——外延技术和条件晶格匹配条件自然晶格匹配1晶格匹配.PDF

第七讲——外延技术和条件 l 晶格匹配条件 自然晶格匹配 1 ，晶格匹配材料系统的复习 2 ，晶格牵引 强制晶格匹配 1 ，假晶层 2 ，Mattews-Blakeslee 极限，其他模型 3 ，例子——使用假晶层的器件 失配外延 1 ，阶跃坡度 2 ，线性坡度 3 ，例子——使用坡度异质结构的器件 l 外延技术——复习 液相外延 气相外延 1 ，汽相外延；2 ，金属有机化学物化学汽相淀积 分子束外延 1 ，固体源；2 ，气体源；3，金属有机化学物源；4 ，化学束 Ⅲ-Ⅴ族化合物系统：InGaAsP和AlGaAs 插页 1——应变层 应变层 1，调节性失配 2 ，位错发生 3，模型 4 ，参数值 5，应变的影响 应变的影响和能带的量子势阱量子化 15纳米宽势阱 GaAs/In0.06Ga0.57Al0.37As 临界层厚度——最后注解 临界层厚度取决于需要——MIT Jesus delAlamo教授和Jagdeep Bahl教授的成果 失配外延——使各层松弛 坡度晶格固定层 线性坡度 阶跃坡度 l 那种方法更好并没有共识，通常选用较方便或较实用的一种。 l 由于最后一层通常不是完全松弛的，他通常升高到某一能级然后降回，如左 边的结构所示。 外延技术——可选择的系列 液相外延 汽相技术 （流体动力） 氢化物运输 氯运输 金属有机化学物化学汽相淀积 分子束外延 固体源 气体源 化学束 金属有机化学物源 液相外延——LPE 从氢环境的镓或铟溶液中生长 优点：接近平衡生长，卓越的晶体质量，便宜，快速 缺点：按比例增加产量困难 尺寸控制质量差 结构复杂度有限 现在的使用情况：广泛的应用于LED 和激光二极管的沿用已久的的过程中。在新的装 置极少应用。 液相外延, LPE “船”的分解图 材料：加工过的热解石墨 生长环境：电阻加热炉中石英管中的一个大气压下的提纯氢。 液相外延——熔融计算 二相图 In-P 图表 A-B-C 随着T减小，二元（或三元）化合物从熔融状态中凝固 ——左图所示的二元化合物是In1-xPx ，固体是InP 。 ——右图所示的三元化合物的情况比较复杂。液体是Ay BzC1-y-z ，固体是Ax B1-x C，图 中没有表示出液体成分和x 的关系。 液相外延——熔融计算（续） 投影的等温线和In-Ga-As 系统地连结线 与InP 晶格匹配的InGaAs 的平衡液相线 三元化合物液体成分和三元化合物固体成分的关系由一条连接投影的等温线和三 元化合物固体线的线表示，如左图所示。 或者由一个我们关心的特定固体成分的液体成分-温度关系图表示，如右图所示。 氯运输汽相外延——VPE GaCl3 + AsH3-- GaAs + 3HCl ( 图片已删除) 见： Enda, H., Japanese Journal of Applied Physics