150MM晶圆运输和处理产品-Entegris.PDF

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2017-08-12 发布于天津
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150 MM 150 mm 150 MM 高级晶圆运输 2 存储盒 10 多晶圆运输盒 3 E160 10 Ultrapak® 3 E124 10 E90 10 单晶圆运输盒与托盘 4 E206 10 H93 4 H3150 11 Solopak® 5 H22 6 选件和附件 12 H20 6 12 13 运输晶圆运输盒 7 13 194/196 7 182 7 材料信息 14 处理晶圆运输盒 8 其它产品 14 194 8 欲知更多信息 15 190 8 销售条款 15 182 9 产品保证 15 ENTEGRIS, INC. 1 150 MM 高级晶圆运输 • • • • 高效设备 • 合成半导体材料采用 • 机台正常运行时间 STAT-RO 9000 • 铜处理进行新一代高级 • 自动化水平晶圆运输 • 机台产能势趋术技的厂圆晶 • 设计规则