ConfidentialforReferenceOnly-亚翔工程.PDF

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2017-08-12 发布于天津
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亞翔工程技術雙月刊第 033 期(2012 年04月) 在氣相層析質譜儀(GC/MS)的定量，就應用於空氣中揮發性 (VOCs)有機氣體，最常被使用的定量方式，就是甲苯半定量 (相對定量) 。我們一直很好奇，就某一物種自己本身的絕對定量與甲苯半定量的差異會是怎麼一回事？本期電子報裏，我們將以半導體/ 光電產業裏常見的PGMEA 為代表，比較絕對/相對定量的差異。 l a i t 前言： n e y 相對定量或稱半定量( ) ，是在我們無法一一針對每一個物種製作檢量線 d l i n 的情況下所做的妥協。甲苯是比較常被採用的參考對象。 f n O o 而絕對定量，則是直接以該物種去製作該物種的檢量線所做的定量。 C e 就同一物種而言，兩者是否有差異？ c n e r 就讓我們以 PGMEA 為例，做一介紹。 e f e 檢量線製作： R r 我們分別以甲苯及PGMEA 製作各別獨立的檢量線，如下圖一所示。 o f 圖一( ) P1 亞翔工程技術雙月刊第 033 期(2012 年04月) 採樣與分析：我們選擇某一光電廠，以Tenax管進行採樣，經 GC/MS 分析後，以 PGMEA 為對象，套入前述甲苯及 PGMEA的檢量線，比較 PGMEA的濃度值，如下表： l a i