优质纳米晶硅薄膜的低温制备技术和其在太阳能电池中的应用进展_陈城钊.pdfVIP

2 4 Vo1. 2, No . 4 2 0 0 8 1 2 MAT ERIA LS RESEA RCH A ND APPLICAT ION De . 2 0 0 8 : 1673-9981( 2008) 04-0450-05 * 1 1 1 1 1 2 1, 2 陈城钊 , 邱胜桦 , 刘翠青, 吴燕丹, 李 平 , 余楚迎 , 林璇英 ( 1. , 52104 1; 2. , 515063) : , . . : ; ; ; : T M9 14. 4 : A ( n-Si zH) , , a- Si zH . , PECVD a-Si B H ,