回馈模拟法于TFT-LCD厂制程排气系统研究STUDYOFTFT-LCD.PDF

回饋模擬法於 TFT-LCD廠製程排氣系統研究 STUDY OF TFT-LCD PROCESS EXHAUST SYSTEM USING FEEDBACK SIMULATION METHOD 陳輝俊 王文博 H.J. Chen, W.B. Wang 國立台北科技大學 冷凍空調工程系暨研究所 摘 要 在製程排氣系統中，傳統的設計方法並無法考慮到實際運轉情形，需於系統完成後藉由 系統測試與平衡調整系統的閥件或檔板而達到壓力與流量的平衡， ，耗費了許多成本與時間 。 此外，傳統的設計方法也無法針對廠房擴廠時 ，所需增加之機台以及相關管段、配件或設備 等 ，作一原系統相容的設計 。有鑑於此 ，本文將引入回饋模擬法之觀念回饋模擬法的意義在; 於必須考慮負荷隨時間變動的情形，並在每一次不同負荷情況下，利用模擬運轉結果來修正 系統模型的設計值，也就是引進了回饋控制的觀念，在回饋控制中，系統利用傳回一個誤差 訊號，來調整下一次輸入的參數，已達到回饋 模擬的方式。本文將以回饋模擬之方法，模擬 TFT-LCD廠製程排氣系統運轉情形 ，並針對擋板控制與風機變頻控制運轉情形作一模擬 ，最 後並針對擴廠時系統轉情形作一模擬，以使得設計者於設計階段即可瞭解系統的運轉情形， 進而提高設計的彈性，並縮短設計時程。 關鍵字 ：回饋模擬法、製程排氣系統 Abstract Conventional exhaust duct system design methods utilize the maximum load to choose equipments and ignore the actual running process. Therefore, in actual running process, exhaust duct system needs to meet the flow-rate requirements by adjusting the control valves and dampers. These balance procedures is time-consuming and thus increase the operating cost. Furthermore conventional design method cannot consider the future development and expansion of exhaust duct system, which is critical to design concerns. To improve the disadvantages of conventional design methods, Feedback Simulation Method (FSM) is proposed to simulate the actual running process. From the simulation results we can justify the operating control strategies and provide the performance-based design of exhaust duct system, which can operate at the condition of conserved energy. An acid exhaust system in a TFT-LCD factory is presented in this study to understand the characteristics of the proposed method. Dam