太阳能电池之电致发光缺陷检测技术太阳能电池之电致发光缺陷检测.PDF

太陽能電池之電致發光缺陷檢測技術 太陽能電池之電致發光缺陷檢測技術 太陽能電池之電致發光缺陷檢測技術太陽能電池之電致發光缺陷檢測技術 陳秋惠 劉定坤 工研院量測中心 工研院量測中心 tracy@.tw teicon@.tw 摘要摘要 摘要摘要 在太陽能電池生產過程中，最終產品需經過檢驗方能確保其品質。目前的檢測方式分為兩類，一 為電性檢測,一為外觀缺陷檢測；其中太陽能電池若有微裂(micro-crack) 、斷線等缺陷，從電性測試 大多無法檢出，但此類缺陷經過後續製程，會對模組功能產生不良的影響。本文利用太陽能電池電致 發光的特性，再利用可偵測近紅外光的相機，取得電致發光影像。電致發光影像可清楚呈現太陽能電 池的材料瑕疵(Material defect) 、燒結(Sintering wave) 、製程污染(Contamination) 、微裂(Micro crack) ，以及線路斷路(Broken finger)等缺陷。本文亦提出一演算流程，自動檢測出電致發光影像中的缺陷 資訊，取代人工目檢。 關鍵字關鍵字:太陽能電池、電致發光(Electroluminescence ;EL) 、缺陷檢測 關鍵字關鍵字 壹、壹 、前言前言 壹壹 、、前言前言 在太陽能電池 cell 段的生產過程中，最終產品需經過檢驗方能確保其品質。需檢測的缺陷項目， 包括材料瑕疵(Material defect) 、燒結(Sintering wave) 、製程污染(Contamination) 、微裂(Micro crack) ， 以及線路斷路(Broken finger)等。其中材料瑕疵、燒結、製程污染三項缺陷會大幅影響太陽電池的轉 換效率(Conversion efficiency) ；因此利用電測的方式，即可將有這些缺陷的產品分類出來，並將不良 的部分剔除。但微裂與線路斷路這兩項缺陷，雖然影響到的轉換效率不大，但卻對產品的穩定性與使 用壽命有極大的影響，故此部分需用外觀檢測的方式，將這些缺陷檢測出來。 一般外觀檢測的技術包括可見光外觀檢測、近紅外光背光檢測、電致發光檢測等，其中電致發光 檢測對於微裂的成像效果最佳，其餘的技術並無法拍攝到微裂缺陷。運用電致發光的特性，太陽能電 池因缺陷而導致發光效率不佳的區域，經過感測器擷取影像後，該區域灰階明顯較暗，所以可藉由一 些影像處理手法將其檢測出來。尤其是多晶矽太陽能電池，微裂的檢測很容易被材料本身的紋理所干 擾，並且微列通常是細長型且對比很低；我們提出一檢測演算法則，巨觀缺陷檢測是針對較大區域缺 陷；微觀缺陷檢測則是針對微裂等缺陷作檢測。以期能在生產更前段將有缺陷的元件檢出，並將檢測 的流程自動化，取代繁重的人工目檢，確保製程品質。 貳、貳 、研究方法研究方法 貳貳 、、研究方法研究方法 電致發光影像的檢測方式。電致發光(Electroluminescence, EL)技術是將太陽能電池加上一正向 電流後，太陽能電池會如發光二極體般，發出近紅外的光，其光強度除正比於輸入電流外，亦和其缺 陷密度有關；缺陷越少的部分，其發光強度也越強；缺陷越多的部分，其光強度就越弱。藉由觀察電 致發光的影像，不僅可判別材料瑕疵、燒結與製程污染之缺陷；如微裂與線路斷路等缺陷，由於缺陷 密度極高，亦可由電致發光的影像明顯的判別出來。圖 1 為電致發光取像系統示意圖，探針於電池 表面電極加上一適當的電流後，會放出波長範圍 950nm~1250nm，中心波長約 1150nm 之近紅外光，選 擇適當之相機，可取得待測物之電致發光影像。 Cooling CCD 影像擷取 Camera IR Filter EL from solar cell