光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计详解.pdf

第 44卷第 9期 光 子 学 报 Vo1．44No．9 2015年 9月 ACTA PH0T0NICA SINICA September2015 doi：10．3788／gzXb201544O9．0922001 光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 张德福 ，李显凌，东立剑，孙振 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 超精密光学工程研究中心，长春 130033) 摘 要 ：为 了找 出耦合误差产生的根源 ，探讨 了柔性偏心机构设计方法．首先 ，给 出了机构组成和工作原 理 ；然后 ，基于柔度矩 阵法对机构建模 ，分别推导 了桥式位移放 大机构 、导 向机构 、连接机构 的柔度 ；最 后 ，综合得到机构 的整体柔度．分析结果表 明柔度矩阵法得到的输 出柔度理论值和有 限元法得到的结果 误差为 8．126 ，机构的一阶固有频率为 73．78Hz．在 40N 的驱动力范围内，机构可以实现 66．466 m 的行程 ，透镜和机构上 的最大应 力分别 为 0．0711MPa和 235．22MPa，Y／Z／RX／Ry／RZ耦合 误差和X 向行程 的比分别为 0．0543 、0．0082 、1．218×10 rad／~m、1．870×10．rad／~m、6．073×10．。rad／m．调 节后镜片面形 PV值优于 24nm，RMS值优于5nm，并且主要为像散．通过合理 的柔度设计 ，机构接近 完全解耦 ，揭示 了不合理的机构刚度是产生调节耦合误差的根源． 关键词 ：耦合误差 ；光刻 ；物镜 ；偏心调节机构 ；柔度矩阵法 中图分类号 ：TH74 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—4213(2015)09—0922001—5 CouplingErrorInhibitionofEccentricAdjustmentMechanism DesigninLithographicObjectiveLens ZHANGDe—fu，LIXian-ling，DONGLi—jian，SUN Zhen (EngineeringResearchCenterofExtremePrecisionOptics，StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，Changchun InstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) Abstract：Toidentifythegeneratedsourceofcoupling errors，design method oftheflexibleeccentric mechanism isdiscussedinthepaper．Firstly，thecompositionandworkingprincipleofthemechanism is given．Then，themechanism mode1isestablished based on the compliancematrix method(CMM )． Complianceofthebridge—type displacementamplification mechanism ，theguiding mechanism and the connectingm echanism isderived．Finally，complianceofthewholebodyisgot．Theresultsshow thatthe outputcomplianceerroris8．126 obtainedbytheCMM andFEA method．Thefirstnatura1frequency ofthemechanism is73．78Hz．Thestrokeof