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25μm Au丝引线键合正交试验研究 Research of Orthogonal Test on 25 μm Gold Wire Bonding
Pm∞鹤Te曲niql埠M砷鼬俨
工穗浆a她nd咿
doi:10.3969/j.issn.1003—353x.2010.04.018
25umAu丝引线键合正交试验研究
旷仁雄,谢飞
(西科微波通讯有限公司,成都610091)
摘要:通过分析键合工艺参数,为25肛mAu丝引线键合的应用提供实验依据。采用正交试
验法对键合工艺参数进行试验研究。起决定性作用的是因素间的交互作用和劈刀的安装长度,其
次为压力、超声功率、超声时间、热台温度、劈刀温度。各因素影响力大小为ABFCD
E,较优工艺方案为“A282Cl 4-
0.022D+0.013F。除以上主要影响因素,Au丝弧度也是需要考虑的。给进一步研究引线键合提
供重要依据。
关键词:金丝;引线键合;正交试验;键合工艺参数;劈刀;超声
中图分类号:TN305.96文献标识码:A
Researchof Teston25 GoldWire
Orthogonal ttm Bonding
Fei
KuangRenxiong,Xie
MicrowaveCommunication
(‰,l Go.,Ltd.,Chengdu610091,China)
the is for25 wire
basis
Abstract:Byanalyzingbondingparameter,theexperimentalgiven fjmgold
wasresearched test.Themainfactorseffeetedon
bondingapplication.nebondingparameter byorthogonai
the aretheinteractionandmountedof the
bondingquality lengthcapillary,andpressure,ultrasonicpower,
ultrasonic of of arealsotheeffectfactors.The
time,the stage,the
temperatureheating temperaturecapillary
levelof factoris bettersolution
ABFCDE,the
influencing is“A282ClD2ElFl”,theregression
modelisY=13.124+0.731A一0.393B一0.057C+0.022D+0.013F.Theradianof wireis
gold necessary
tobeconsideredbesidestheabove.mentionedinfluencefactors.
wire;wire
K
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