AFM在不同参数下实现阳极氧化纳米加工 Anodic Oxidation Nano-Fabrication at Different Parameters by AFM.pdfVIP

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2017-08-12 发布于上海
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AFM在不同参数下实现阳极氧化纳米加工 Anodic Oxidation Nano-Fabrication at Different Parameters by AFM.pdf

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AFM在不同参数下实现阳极氧化纳米加工 Anodic Oxidation Nano-Fabrication at Different Parameters by AFM

技术韦杜 n晴_，0一 AF M在不同参数下实现阳极氧化纳米加工孙志，秦水介 50f)25) (贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室，贵阳5 摘要：用原子力显微镜(AFM)研究了电场诱导氧化理论以及偏置电压和脉冲时间对加工结构尺寸的影响。通过实验得出了偏压、脉冲时间越大，加工尺寸越大的结论。并总结出氧化加工Si较好的参数范围。关键词：AFM针尖诱导阳极氧化；Si氧化点；偏置电压；脉冲时间中图分类号：TN305．5；0484．1文献标识码：A 文章编号：1003—353x(2006)10—075l一03 AnodicoxidationNano-Fabrication atDifferentParametersAFM by SUN Zhi，QINShuiIjie Phofoe!ecfricnnd GuizhoHProvince LTheKeyLdbor。tory，or T￡chnologyApp“cnlioHo．f 5 G“fz^o“UnlvPrsf砂，G“抄nHg50025，C矗f九4) offield—inducedoxidationandthe ofbias and timeon Abstract：The theory impact VoltagepuIse werestudied tothe is thatthebias thenanofabrication obVious byAFM．Accordingexperiments，it and timeareindirect tooxidedimension．Thebias and v01tagepulse proportion pToperVoltagepulse time for SiIIlmwereachieVed． rangeoxidizing words：AFManodic oxidation tiIne Key oxidation；Sipoints；biasvoItage；pulse 1 引言体(MOS)结构，从而可以实现加工各种纳米器件f AFM自发明以来【l_2】，主要应用于观察和测定似于传统的电化学反应，其中AFM针尖和样品之物体表面的形貌、摩擦力、表面黏附力、变形、间的水桥作为电解液f6l。阳极氧化过程中，如果样电场力等方面的研究。目前，用导电AFM针尖诱品施加正偏压，针尖和样品分别相当于电化学反应