DB-FIB中由不完全分解的Pt导致样品表面污染的解决方法 A Solution for Incompletely Decomposed Pt Induced Sample Surface Defect in DB-FIB System.pdfVIP

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2017-08-12 发布于上海
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DB-FIB中由不完全分解的Pt导致样品表面污染的解决方法 A Solution for Incompletely Decomposed Pt Induced Sample Surface Defect in DB-FIB System.pdf

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DB-FIB中由不完全分解的Pt导致样品表面污染的解决方法 A Solution for Incompletely Decomposed Pt Induced Sample Surface Defect in DB-FIB System

电子工业专用设备 ·测试与测量· D B—FI B中由不完全分解的Pt导致样品表面污染的解决方法陈卉，李桂花，张玉多，李品欢，李德勇 (武汉新芯集成电路制造有限公司分析实验室，湖北武汉430223) 摘要：双柬聚焦离子束(DB．FIB)已经成为半导体工业中，尤其是失效分析(FA)工作中非常重要的工具，被广泛应用于集成电路的缺陷分析和修整、TEM(透射电子显微镜)的薄片试样制备等方面。在制备TEM样品时，为了避免后期切削时Ga离子柬对表层的损伤，在Ga离子束切削样品之前往往会在样品需要观测的位置上沉积一层Pt薄膜作保护层。目前，最常用的方法是先用电 assisted 子束辅助沉积(E-beam dcposition)的方法在样品表面镀一层Pt薄膜，然后再在其上用离子束辅助沉积(I-beam 测过程中．发现用DB．FIB制备的样品表面会出现球状或岛状的黑色颗粒，这种现象严重影响 TEM对样品的分析。经EDX成分分析。该颗粒的主要成分为Pt，C，Ga．。通过设计一系列的实验对 Pt的沉积电黑色颗粒形成原因及解决方法进行了研究。实验结果表明，这些颗粒的出现与I—Beam 流有关．采用48pA的I．Be姗电流沉积Pt会避免黑色颗粒的出现，并且对该模型作出了解释。关键词：双束聚焦离子束；离子束辅助沉积Pt电流；表面污染中图分类号：TN406 文献标识码：A ASolutionfor PtInduced IncompletelyDecomposed inDB—FIB SurfaceDefect SampIe System CHEN Hui，LIGuihua，ZHANGYuduo，LIPinHu觚，LIDeyong Semiconductor hltcmatiomJ (AnalysisLabomto哆，Whuh锄XinxinManu缸nIring Corpomtion(WⅪC)，Wuh孤430223，Chilla) Abstract：Inmis c嬲esabout蚰响cedefectof Fmweredis- p印er，t、vo TEM船mplepr印aredby defectwjth orisland w弱obseⅣedonthe cussed．Surface surfacenearion-be锄 sphere sh印e s啪ple were toeliminatesuchkirldof theoreti- n area．Exp舐ments deposition desi印ed defect．Meanwhile，a calmodel to thefonnationof蚰chs曲cedefect．The explain w嬲prcsented incompl