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真空技術報告質量流量計(Mass Flow Meters) 授課老師：吳文端老師 班 級：碩研光電一甲 組 員：王景星 MA0L0109 王招勝 MA0L0118 報告日期：2011.12.07 Outline 簡介 影響流量測定之流體物性 流量之分類 流量之量測 質量流量計之優缺點 基本原理與結構介紹 結論 參考文獻 簡介 由於真空技術發展迅速，其應用之範圍也越來越廣泛，最 具代表性的就是半導體相關產業，尤以半導體上游產業(如晶 圓設計、生產、製造及封裝等)更大量引進了先進之真空技術 ，其中許多真空製程中如何確知混合氣體或蒸氣之成分是非常 重要的，因此採用甚多之質量流量計 ( Mass Flow Meters )； 質量流量計(Mass Flow Meters)可說是種量測質量速率的一種 裝置，此外在其它真空應用及部分真空校正工作中也常利用流 量計來協助。 影響流量測定之流體物性 1.壓力: 對於流體而言，乃是指流體單位面積所受的力。 2.密度: 即流體單位體積的重量。 3.黏度: 指其對流動的物理阻力，流體的黏度受溫度的影 響，溫度上升時，液體的黏度隨之降低，但氣體 的黏度恰好相反，隨溫度上升而增加。 4.速度: 指其在流動方向的速率，也就是流體在管路中流 動的快慢。 流量之分類 流量之量測 質量流量計之優缺點 優點 直接測量質量流量，有很高的測量精確度 流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準 可在 -50 ~ +200度，甚至更高的溫度下進行 可靠性高 流量計的阻力較小 有很寬的工作壓力範圍 基本原理與結構介紹 (1) output indication: 輸出指示 command signal: 控制信號 Amplifier circuit: 放大器電路 comparator control circuit: 比較器控制電路 control valve : 控制閥 基本原理與結構介紹 (2) ←質量流量控制器產品列表 產品配置圖 ↓ 基本原理與結構介紹 (3) 基本原理與結構介紹 (4) 質量流量計產品圖 基本原理與結構介紹 (5) 結論 質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、高效、穩定、靈活的 流量測量儀表，在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應 用。 質量流量計應用於氣體小流量測量，較多應用於半導體工業、熱 處理爐、分析儀器等。 目前市面上的流量計較偏向超聲波氣體流量計。 參考文獻 工業儀器，涂漢欽 吳龍川 陳慶鐘編著，正文書局印行 流量計的正確使用方法，日本電器計測器工業會編，鄭振東譯 /goodsid/wenzhangview/490633.html /DS09infonews0047.asp /DS09infonews0134.asp * * 是用密度計與容積流量直接相乘求得質量流量 間接式 (1) 量熱式 (2) 角動量式 (3) 振動陀螺式 (4) 馬格努斯效應式 (5) 科里奧利力式 直接式 (1) 定體積運動量測法 (2) 重力平衡量測法 (3) 動量平衡量測法 (4) 位能量測法 (5) 壓力差量測法 (6) 溫度差量測法 (7) 超音波量測法 (8) 雷射量測法等 間接流量量測法 (1) 重量量測法 (2) 質量量測法 (3) 體積量冊法 直接流量量測法 缺點 被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對微管型儀表更有易堵塞的缺點 對外界振動干擾較為敏感 價格昂貴 響應緩慢 溫度差是取決於氣體的質量流量、密度、比熱、流速函數。 * * *