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扫描电镜分辨能力适用表征尺度范围.doc

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扫描电镜分辨能力适用表征尺度范围

扫描电镜的分辨能力适用表征尺度范围 扫描电子 显微镜显微镜分析系统在工业材料研发制造和应用过程中必不可少,越来越多的事实证明,制约最终产品质量的关键因素往往是材料性能相对落后。通过现代科学仪器进行材料的分析和表征,控制和提高基础材料的可靠性能以满足工业需要,得到了中国乃至世界业内广泛的共识。世友创业扫描电镜分析系统项目,由具有十几年的扫描电镜业内经验专业人士承担,为用户提供一流的产品和技术服务,并且为普及扫描电镜知识经验而努力。在一般人的印象里,都可以看到纳米尺度,可以表征纳米材料。但在实践应用过程中,电子显微镜分成几类,分辨表征能力有较大差异。为了广大用户准确了解和使用,特作如下总结。电子显微镜类别一类透射电子显微镜,这里不作说明。一类扫描电子显微镜,扫描电子显微镜主要演化分类:场发射大型扫描电子显微镜------------极限分辨率1-亚纳米级六硼化镧电子枪大型扫描电镜--------极限分辨率2nm钨灯丝大型扫描电子显微镜--------极限分辨率3nm小型桌面台式扫描电镜(目前商品化主要是钨灯丝)---极限分辨率20nm假使只关心样品形貌,不考虑其他探测器的性能发挥,各类型扫描电镜在良好状态条件下,分辨能力适用范围。1、扫描电镜的极限适用表征形貌尺度--结构特征放大到3-6mm ,能看出基本形状和结构特征。仪器观测条件需要发挥到相对极限。操作难度高,需要丰富的操作经验。场发射大型扫描电镜有效表征:20nm-40nm 对应倍数15万-30万倍六硼化镧大型扫描电镜有效表征: 40nm-80nm 对应7.5万-15万倍钨灯丝大型扫描电镜有效表征: 60nm-120nm 对应5万-10万倍小型桌面台式扫描电镜有效表征:400nm-800nm 对应 7500x-15000x2、扫描电镜中等潜能适用表征形貌尺度--结构特征放大到3-6mm,能看出基本形状和结构特征。仪器观测条件设置在中等水平,操作难度适中,一般经过系统培训可以实现。场发射大型扫描电镜 40nm-80nm 对应75000x-150000x六硼化镧大型扫描电镜 80nm-170nm 对应35000X-75000X钨灯丝大型扫描电镜120nm-600nm 对应25000x-50000x小型桌面台式扫描电镜 800nm-1600nm 对应3750x-7500x3、扫描电镜一般使用对应的形貌特征尺度 结构特征放大到3mm以上。仪器观测条件设置在中等水平以下,操作简单,一般简单培训即可上机操作。场发射大型扫描电镜 大于80nm 对应小于75000x六硼化镧大型扫描电镜 大于170nm 对应小于35000X钨灯丝大型扫描电镜 大于240nm 对应小于25000x小型桌面台式扫描电镜 大于1600nm 对应小于3750x扫描电镜往往有维护周期,在维护周期内,随使用时间推移,扫描电镜的性能会不断下降。如果考虑环境干扰因素,性能不断下降因素,获得平均性能的发挥,以上数据须打折扣。扫描电镜的使用方法和维护很重要,如不能正确使用和维护,发挥出中等能力也很困难,只能是低水平应用。扫描电镜应用是科学也是艺术,经验丰富的专业人员能够发挥其最大潜能,而大多使用者令其在中间能力发挥作用,在中等条件下,获得好的图像质量。如果希望图像质量更好,甚至达到艺术级别,那么需要相应的提高仪器档次,或者降低仪器使用表征尺度范畴。以上是仪器按照科学使用经验的总结,也是用户选购仪器分辨率的科学决定因素。

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