LED探针台CCD采集数据处理算法的研究 Algorithm Research of LED Probe CCD Acquisition Data.pdfVIP

团■j‘—蔓篡暑笪蚕蟹鲤笪鬯豳耋鬯豳麴幽 塾塑堕堇丕型亟 LED探针台CCD采集数据处理 算法的研究 刘 国敬 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京 100176) 摘 要 ：因LED测试芯片经过切割 、崩裂、扩张后其上的晶粒会产生很大变形 ，产生很 多空点和 排列不规则的点。LED探针 台使用面阵相机对 晶圆上的晶粒 图像数据采集时，两屏之 间存在重叠 区域 。造成大量重复数据。要短时间内获取到点附于蓝膜上晶粒的精确唯一位置和坐标 ，需要寻 找一种可靠高效的数据处理算法，通过对几种数据处理算法进行研究得 出最优算法。 关键词 ：LED探针台；数据处理 ；坐标资料 ；Map图 中图分类号：TN407 文献标识码 ：A 文章编号：1004．4507(2012)07—0013．03 Algorithm ResearchofLED ProbeCCD AcquisitionData L1UGuojing (The45ResearchInstituteofCETC，Beijing101601，China) Abstract：LED testchipinthebluefilm，aftercutting，crack，expansion，thegrainsonthetestchip producemanyemptyandirregularpoints．LED probeemploytheplanearraycameratocollecthte imagedataofdie，there isan overlap regionbetween two screen，resulting ina largenumberof duplicatedata．Toobtainapreciselocationdataandcoordinatedataofthebluefilm rgaininashort periodoftime，youneedtofindareliableandefficientdataprocessingalgorithms．Thispapersutdies theoptimalalgorithm onseveraldataprocessingalgorithms． Keywords：LED ProbeStation；DataProcessing；CoordinateData；M apFiugre LED探针台是专用于LED在生产过程 中的 料，LED 的测试与分选才能得 以进行。 测试设备 。LED 的测试与分选是LED供应商的一 项必要的工序，且它是许多LED芯片厂商提高产 l 采集数据处理算法 能的瓶颈 ，也是LED芯片生产成本的一个重要因 素。CCD采集数据 的处理是LED探针台测试的灵 消除重复数据 ，采用了边扫描边处理的方式， 魂，只有取得晶粒精确唯一的位置资料和坐标资 运用探针台 ，y向等待运动停止时间来处理重 收稿 日期 ：2012．04．19 万方数据 万方数据 ● 电 子 工 业 专 用 i殳备 材料制备 工艺与设备 (3)由于锗材料 的比重为 5．323g／cm ，是硅 比 点，因此锗单晶生长界面对于温度变化十分敏感， 重的2倍 以上，不利于熔体的稳定。为减小旋转离 而用于硅单晶生长的加热功率调节精度不能满足 心力，提高熔区稳定性，区熔过程 中的下轴转速减 需要，致使锗单晶生长的放肩过程一开始即引入了 小至 4r／min。 大量的位错 。要生长出低位错、甚至是无位错的锗