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LTCC精密丝网印刷机概述 LTCC Exact Silk Screen Printing Machine Summarize
电字工业
.组装技术皇王茎二
LTCC精密丝网印刷机概述
祛建亮,赵立华,王洪宇,蒲继祖
(中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京东燕郊101601)
摘 要:介绍了低温共烧陶瓷(LTCC)技g-.并针对其核心设备--LTCC精密丝网印刷机的
机械结构和采用的关键技术作了简明扼要的阐述。
关键词:低温共烧陶瓷;丝网印刷;生瓷片;线性电机
中图分类号:TN605 文献标识码:B
LTCCExactSilkScreen MachineSummarize
Printing
ZHANG Jizu
lihua,WANGHongyu,PU
Jianliang,ZHAO
45thInsitituteof East 10160
(The CETC,BeijingYanjiao1,china)
Abstract:ThisleRer introducelow CO—firedceramic
mostly temperature technology,andcompendious-
themechanismflamecore exactsilkscreen machine.
lyexpatiate equipment printing
CO—fired motor
screen
ceramic;silkprinting;ceramictapes;linear
Keywords:lowtemperature
近几年,随着市场对电子产品小型、轻量、多功 机、激光划片机、微孔填充、精密电子网板印刷机、
能、高可靠性的迫切要求,电子元件积极地向小体 层压机、热切机、低温烧结炉、双面飞针测试系统、
积化发展,电子元件也被整合到印刷电路板中。低 化学机械抛光机、磁控溅射台、反应离子刻蚀机、超
温共烧陶瓷技术的精进,对设备的集成度、精密性 声打孔机、激光调阻机、厚胶旋涂及热板系统、单片
和可靠性的要求也越来越严。 旋转显影清洗机、晶圆凸点电镀系统、倒装焊机、声
LTCC技术,就是将低温烧结陶瓷粉制成厚度学扫描检测系统。
精确而且致密的生瓷带,在生瓷带上利用激光打
孔、微孔注浆、精密导体浆料印刷等工艺制出所需 1 设备结构组成 。
要的电路图形,并将多个无源元件埋入其中,然后
叠压在一起,在900℃下烧结,制成高精度片式元 印刷机是微电子组装关键设备之一。主要用
件,三维电路网络的无源集成组件,也可制成内置 于LTCC生产过程中生陶瓷基片上的金属化图形
无源元件的三维电路基板,在其表面可以贴装IC 印刷、孔填充导体浆料印刷,并在线烘干,以制作
和有源器件,制成无源/有源集成的功能模块。完 多层陶瓷电容器(MLCC)以及各种陶瓷基板封装
成该工艺流程所需设备包括:切片机、生磁带打孔 类器件。主要由物料传送系统、印刷系统、烘干系
收稿日期:2009.06.21
万方数据
.组装技术与工艺.
M哩疃型堕
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