MEMS及微机械加速度计可靠性研究 Reliability of MEMS and Micromechanical Accelerometer.pdfVIP

蕊螽纛蕊茹纛莲‰蔷磊纛i篱鼠撼。；畿麟纛。趱赣篓穗曦曼瞩l鼍l≮黼甑穗逡疆遴赣|蕊蘸懿，鹗羁溉懿熟蠢苌畚喜甚釜备翟j MEMS及微机械加速度计可靠性研究★ 许建军1一，孔学东2，李斌1，师谦2 (1．华南理工大学物理科学与技术学院微电子研究所，广东广州510640； 2．信息产业部电子第五研究所，广东 广州 510610) 摘 要：由辛MEMS器件的应用日益频繁，其可靠性研究就显褥十分重要。介绍了引起可靠性问题的原因。 以微机械细速度计为例，指出了该加速度_i卡的可靠性问题，以及对其可靠性测试研究的内容。 关键词：微电予瓤械系统；可靠性；微机械加速度计 ofMEMSandMicromechanical ReIiability xU Binl，sHI Jian．junl，2，KONGxue—don矛，LI Qian2 InstituteofSouthChina of 5 (1．Microelectronic UniversityTechnology，Guangzhou10640，China； 510610，China) 2．CEPREI，Guangzhou of for Itis to the MEMSits Abstract：importantstudy reliability f诧quentlyapplication．The a弛introducedinthisarticle．AtMEMSaccelerometer issues the last， reliability causing pmblem are istakenasan issuesofMEMSaccelerometer andthe example．Thereliability presented test areintIDduced． reliabilityaspects words： accelerometer Key MEMS；reliability；micromechanical 1 引言 2 MEMS定义与应用 自从第一个晶体管诞生以来，半导体产业在这 微电子机械系统(MEMS)，也称微系统技术 50多年的发展有着惊人的速度和成就。与此同时， (MST)或微机械，是集成的微器件或系统。它综 半导体产业向其它科研领域的渗透越来越深。微机 合了电子、机械、流体动力学、光学、生物、化学 械的出现即是这种作用的结果。微机械发展和应用 等不同的学科领域．具有制造工艺与集成电路 涉及到物理、化学、生物、汽车、航空航天、国 (IC)制造相兼容性。微型化的机械系统为科学技 防、工业、农业、交通、信息以及家庭等领域。由 术的发展提供崭新的方向。跟传统的器件相比，它 于微机械的使用跟人身安全的联系日益紧密。所以 具有更小、更轻、更快、更精确的特点。但是，微 可靠性问题也就自然而然被提上日程表．并且得到 机械系统的发展对