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- 2017-08-12 发布于上海
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Sb2Te3热电薄膜磁控溅射制备工艺 Fabrication of Sb2Te3 Film Using Magnetic Sputtering Technology
电子工艺技术
年 月 第 卷第 期 Electronics Process Technology 103
2013 3 34 2
·新工艺·新技术·
Sb Te 热电薄膜磁控溅射制备工艺
2 3
1 1 1 2 1
杭春进 , 付明亮 , 孙少鹏 , 王树峰 , 王春青
（1. 哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150001;
2. 大庆油田第二采油厂，黑龙江 大庆 163414）
摘 要：Sb Te 基半导体合金是目前性能较好的热电半导体材料。将材料
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