自动化光学检测应用于微放电线上补偿技术研究An-先进工程学刊.PDF

先進工程學刊第六卷 第一期 53 Journal of Advanced Engineering Vol. 6, No. 1, pp. 53-57 / January 2011 自動化光學檢測應用於微放電線上補償技術研究 An AOI Technique for the On-line Compensation of Micro EDM 1 *2 3 陳順同 楊弘意 康智凱 Shun-Tong Chen1, Hong-Ye Yang*2, Zhi-Kai Kang3 摘要 本研究整合機器視覺 (Machine vision) 與微製造技術 (Micro fabrication technique) 功能於同一部製造系統上，利用精密位移平台將線上加工完成的微細 元件，以影像疊合技術對誤差量進行線上補償檢測，透過影像擷取、濾波、二值 化、影像定位及影像比對的方式，計算工件影像和標準影像像素座標差值，即可 得知補償值，經影像辨識計算後的補償量，系統會自動補償於原始加工程式的原 點座標 (G92) 上進行再加工。主要目的使微小加工元件，在沒有任何移動、拆卸 的情況下，直接進行影像比對與補償再加工，以提高微元件之幾何精度與尺寸精 度，節省校正時間，並獲致線上微細加工、檢測與自動化補償之目的。透過上述 所開發的補償技術，本研究成功應用於直徑 30 µm 精密微球探針的製作。 關鍵詞 ：機械視覺，微製造技術，線上補償技術，光學檢測 Abstract This study combines “machine vision” with “micro fabrication technique” in a developed tabletop machine tool to construct a technique of on-line compensation and re-machining via sensing image information. A micro globular probe with 30 µm in diameter is designed and rough machined using micro electrical discharge machining from a micro rod made of tungsten carbide. Subsequently, it is cleaned on-line using the ultrasonic vibration-assisted in the designed cleaning tank. Image recognition which incorporates image capturing, binary, edge detecting and noise filtering as well as