衬底结构特征对硅基螺旋电感性能的影响 effect of substrate structure on the performance of a silicon on-chip spiral inductor.pdfVIP

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2017-08-12 发布于上海
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衬底结构特征对硅基螺旋电感性能的影响 effect of substrate structure on the performance of a silicon on-chip spiral inductor

第卷第期半导体学报 27 11 Vol.27 No.11 年月 2006 11 CHINESEJOURNAL OF SEMICONDUCTORS Nov. 2006 衬底结构特征对硅基螺旋电感性能的影响% 薛春来姚飞成步文王启明T 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室北京 100083 摘要!使用三维电磁场模拟的方法对不同硅衬底结构螺旋电感进行了模拟和分析通过改变衬底的电导率隔离. 层的厚度以及隔离层的材料衬底引入硅锗合金层等模拟分析了电感性能的变化结果表明随着电导率的减小 . 电感的性能会增强但改善的幅度会逐渐减小厚的. SiO2 隔离层有利于减小衬底损耗但是会给工艺增加难度采. 用低 k 材料作为隔离层是改善电感性能的一种比较理想的方法. 关键词!硅基螺旋电感品质因子衬底结构 EEACC 2140 1350 2560 中图分类号!TN405 文献标识码! 文章编号! # A 0253-4177 2006 11-1955-06 2 硅基螺旋电感的物理模型 1 引言图是螺旋电感的结构和物理模型其中 1 M1 近年来随着无线通信市场的飞速发展低造为上层金属线圈为底层互联金属为电感 M2 ID 价高性能的片上射频器件的需求也在不断地增加. 为了满足低损耗高集成度的要求片上集成螺旋电感已成为压控振荡器低噪声放大器混频器以及中频滤波器等许多通信模块中的重要元件由于硅基. 集成电路制造成本相对较低使得硅基射频集成电路对 GaAs基集成电路具有相当大的竞争力但是. 硅衬底在高频下的高损耗限制了硅基射频电感性能为了改善其性能许多工作者通过改善衬底的结构特性来提高电感的性能例如提高衬底导体电阻. 率或者采用材料作为衬 SOI silicon-on-insulator 底 1 2 增大金属与衬底之间的氧化层厚度以及去除电感底部衬底3 .但是系统研究衬底结构对电感性能改善的报道还很缺乏实际制作测量和三维电. 磁场模拟是两种常用的表征电感特性的方法在精度上两者有很好的吻合与传统的表征方法相比通. 过