半导体制冷型高帧频犆犕犗牦数字摄像机及其成像噪声 - 光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １６ １０ 　 Ｖｏｌ．１６ Ｎｏ．１０ 　 　 　　 　　　　 　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００８ １０ Ｏｃｔ．２００８ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００８１０２０３８０７ 　 半导体制冷型高帧频犆犕犗犛数字 摄像机及其成像噪声分析 ， ， ， ， １２ １２ １２ １２ １ 孙宏海 ，李泽学 ，纪 华 ，王大伟 ，王延杰 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京 １０００３９） 摘要：为了提高高速 ＣＭＯＳ图像传感器的成像质量，降低图像传感器暗电流和随机噪声，介绍了采用半导体制冷方法设 计的高帧频 ＣＭＯＳ数字摄像机成像系统，并针对该相机系统设计出结构一体化的多级半导体制冷器，实现了制冷量可 控。实验结果表明，图像传感器制冷后的温度与环境温度的温差最大可达 ４０℃；通过降低传感器温度很大程度上减少 了暗电流固定模式噪声和瞬态随机噪声；此外，在摄像机内硬件实现了彩色滤波阵列转换和列向非均匀性校正，使输出 图像信噪比提高了６ｄＢ。该相机系统具有集成度高，结构紧凑，高分辨率，高帧频，高信噪比，宽动态范围，成像质量好等 特点。 关 键 词：半导体制冷；高帧频数字相机； 图像传感器；图像噪声 ＣＭＯＳ 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＢ８５３．１ Ａ 　　 犎犻犺犳狉犪犿犲狉犪狋犲犆犕犗犛犱犻犻狋犪犾犮犪犿犲狉犪犫 狊犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉 犵 犵 狔 狉犲犳狉犻犲狉犪狋犻狅狀犪狀犱犻狋狊犻犿犪犻狀 狀狅犻狊犲犪狀犪犾狊犻狊 犵 犵 犵 狔 ， ， ， ， １２ １２ １２ １２ １ ， ， ， ， ＳＵＮＨｏｎｈａｉ ＬＩＺｅｘｕｅ ＪＩＨｕａ ＷＡＮＧＤａｗｅｉ ＷＡＮＧＹａｎｉｅ ｇ