岛赛瑞达PECVD软件使用说明.pdf

青岛赛瑞达设备制造有限公司 青岛赛瑞达设备制造有限公司 太阳能电池片专用 双管 PECVD 系统 软件操作说明书 公司地址：青岛市李沧区李沧工业园铜川路 10 号 公司电话：0532 1 青岛赛瑞达设备制造有限公司 目录 软件使用说明3 1 启动3 1.1 启动3 2 .进程管理3 2.1 温度实时显示4 2.2 运行信息4 2.3 报警显示功能5 2.4 阀门、压力及流量控制功能6 2.5 机械手控制7 2.6 炉门控制 10 2.7 工艺控制 10 3 .工艺管理 11 3.1 窗口介绍 11 3.2 工具栏介绍12 3.3 工艺信息表13 4. 实时曲线13 4.1 曲线查看 13 4.2 工具栏14 5． 历史记录15 5.1 查询历史数据15 5.2 数据操作 16 6． PECVD 参数配置16 6.1 舟位调整 16 6.2 炉管名称 17 6.3 报警参数设定18 6.4 石墨舟管理设定18 6.5 射频电源 19 6.7 工艺19 7．事件日志20 7.1 查询20 8.用户管理21 8.1 添加和删除用户21 8.1 修改用户权限22 9 串口配置23 9.1 串口23 2 青岛赛瑞达设备制造有限公司 软件使用说明 1 启动 1.1 启动 将计算机电源打开，启动计算机。 点击桌面“PECVD工艺自动化计算机控制系统”快捷图标，出现登陆画面(如图 1.1)。输入正确的用户名和密码，点击“登录”按钮即可登录到系统，单击“取消”退 出。 （提示：第一次登陆默认的管理员用户名为“admin”密码为空。登陆系统后管理员可 以更改密码，添加其它用户。） 图1.1 登陆 2 .进程管理 软件登录后，自动打开进程管理窗口。