201010144115-一种制作太阳能电...-审定授权.pdfVIP

SooPAT 一种制作太阳能电池正面栅线电 极的方法 申请号：201010144115.X 申请日：2010-04-02 申请(专利权)人日强光伏科技有限公司 地址 325000 浙江省温州市经济技术开发区滨海五路369号 发明(设计)人万青 郑策 方旭昶 主分类号 H01L31/18(2006.01)I 分类号 H01L31/18(2006.01)I 公开(公告)号101807628A 公开(公告)日2010-08-18 专利代理机构 温州瓯越专利代理有限公司 33211 代理人 李友福 注：本页蓝色字体部分可点击查询相关专利 (19)中华人民共和国国家知识产权局 *CN101807628B* (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 101807628 B (45)授权公告 日 2012.05.23 (21)申请号 201010144115.X (22)申请 日 2010.04.02 (73)专利权人 日强光伏科技有限公司 地址 325000 浙江省温州市经济技术开发区 滨海五路369 号 (72)发明人 万青 郑策 方旭昶 (74)专利代理机构 温州瓯越专利代理有限公司 33211 代理人 李友福 (51) Int.C l. H01L 31/18 (2006.01) 审查员 夏杰 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页 权利要求书1 页 说明书2 页 附图1 页 (54) 发明名称 一种制作太阳能电池正面栅线电极的方法 (57) 摘要 本发明涉及一种太阳能电池正面栅线电极的 制作方法。本发明的技术方案是：一种制作太阳 能电池正面栅线电极的方法，其特征是：依次采 用如下步骤 ：一、将具有适宜宽高比的矩形齿压 模作用于涂有聚合物薄膜的太阳能电池正面，以 形成与压模相对应的矩形齿图案；二、采用化学 腐蚀方法除去凹槽处的聚合物薄膜、减反射涂层 ； 三、进行选择性金属化学镀、电镀工艺完成栅线电 极的制作。通过采用上述方案。本发明克服现有 技术存在的不足，提出了一种制作太阳能电池正 面栅线电极的新方法，该方法科学合理，避免了对 电池基片的损伤，并且压模几乎不变形，适用于产 业化中的重复利用，降低成本。 B 8 2 6 7 0 8 1 0 1 N C CN 101807628 B 权 利 要 求 书 1/1 页 1. 一种制作太阳能电池正面栅线电极的方法，其特征是：依次采用如下步骤 ： (1)、将具有适宜宽高比的矩形齿压模作用于涂有聚合物薄膜的太阳能电池正面，以形 成与压模相对应的矩形齿图案； (2)、移开压模，采用化学腐蚀方法除去凹槽处的聚合物薄膜、减反射涂层，其中化学腐 蚀方法为：使用稀释的丙酮腐蚀掉凹槽处残留的塑料薄膜层，再使用氢氟酸溶液去除减反 射涂层，露出硅电池正面； (3)、进行金属化学镀或\ 和电镀工艺完成栅线电极的初步制作，然后使用丙酮进行二 次清洗腐蚀掉剩余的塑料薄膜 ；最后清洗、退火处理完成太阳能电池正面栅线电极的制作。 2. 根据权利要求1 所述的制