MEMS技术的智能化硅压阻汽车压力传感器.pdf

2009年 仪表技术与传l己器 2009 Instrument andSensor 增刊 Technique 增刊 MEMS技术的智能化硅压阻汽车压力传感器 毛超民，王政平，王冰，任峰 (昆山双桥传感器测控技术有限公司，江苏昆山215325) electromechanical 摘要：文中介绍通过采用MEMS(micro systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号 调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行 温度校准实现了宽温度工作范围内的高精度测量，并且适合于批量制造。 关键词：微机械加工技术；硅压阻；智能校准补偿技术；汽车压力传感器 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2009)增一0178—02 MEMS of AutomotivePressureTransducer Technology Silicon Intelligent MAO Chao—min，WANG Zheng·ping，WANGBing，RENFeng Sensor Measurement (Shuangqiao ControllingCo．，Ltd，Kunshan215325，China) which combinationof Abstract：This theminiaturizationautomotivetransducer paperpresented general pressure designedby MEMSsilicon sensor8and calibration suitableforrllaSS piezoresistivepressure intelligentsis,lal technology，that’s production．It while tocalibrate realizes measurementsensor8 overall calibration precise working temperaturebyusingintelligentsignal technology ofzeroand tolerance． spsn temperature—coefficients calibration sengor Keywords：MEMS；siliconpiezoresistive；intelligenttechnology；automotivepressure 0引言 当今汽车性能的不断提升得益于汽车电子的不断发展。其 中具有代表性的核心元件是传感器。传感器将各种物理信号转 化为电信号从而将汽车行驶的具体状态传送给电子控制单元来 实现汽车控制。作为汽车电子的关键部件在电子技术蓬勃发展 的今天倍受瞩目。美国汽车