固体摄像器件及其在冶金工业中的应用.pdf

固体摄像器件及其在冶金工业 中的应用 汤逢余 赵 宇 飞 冶金部 自动化研究所 对温度在 ℃以上 的物体 不 需 另 、 , , 一 概 述 加光源 可利 用物体本身作光源 这为 赤热 固体摄像 器件是在 固体光敏 器件 和集成 钢材 的测量 提供 了方 便 。 电路技术基础 上 发展起 来 的一种新 型器件 。 由上可 见 , 器件完全 适 合 于 冶 金工 、 、 六十 年代人们就开 始研 制 这种器件 , 到七十 业 中的板状物体 的长 宽 变位等 的测量和 、 、 、 、 年代 , 由于 技术 的进 一步 发 展 , 就研 棒 角状物体 的外径 椭 圆度 速度 振动 、 、 。 制 出这种新 型 的 固体摄像 器件 , 最 有代表性 以及 弯 曲 活套 钢板表 面质量 的检测 等 的是 电荷祸 合器件 宜 和 电荷注人 器 件 二 、 器件结 构及原 理 。 器件是在硅基 板 上排 列着 非 常 紧 器件 虽问世 不久 , 但 由于其用途广 密 的 电容器列而构 成 , 图 是 一 个 三相 。 , 泛 , 已得 到各方面 的普遍注意和重视 目前 二 位 沟道 器件的结构 图 由 个 国 内已有线 阵 和 面 阵 , 其 位 数有 位, 对于 的应用 , 不 少 大专 院校和科研单位 已列为重 点科研项 目。 器件主要 具有 下述优 点 由于 也是 一种半导体器 件 , 因 此可靠性高、