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扫描探针微影术在奈米科技上之应用
(Scanning-Probe Lithography; SPL) (Nano Technology)
(Si N Mask) (CVD)
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(Scanning-Probe
Lithography, SPL)
(1,2,3)
(Atomic Force Mi-
croscope, AFM)
(Electric-Field-induced
Anodic Oxidation)
(3,4,5,6) (7,8,9) (10)
(11,12,13) (14,15,16)
(17)
(Aspect Ratio)
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