电子特气柜 架 VMB VMP简介剖析.pdfVIP

上海兄弟微电子技术有限公司 特气柜/架，VMB/VMP 简介 名词： GC—Gas Cabinet 气瓶柜(用于危害性气体) GR—Gas Rack 气瓶架(用于危害性气体) VMB—Valve Manifold Box 阀门箱(用于危害性气体) VMP—Valve Manifold Panel 阀门盘(用于危害性气体) 特气柜和 VMB 主要用于易燃易爆腐蚀有毒等危害性气体，而气瓶架和 VMP 一般用于非危害性气 体；主要区别在于，特气柜和 VMB 都要有一个外壳上有抽风管，当发生小泄露等危险情况时可将此类 气体排出去避免扩散产生更大危险。 (一) Gas Cabinet / Gas Rack 特气柜/气瓶架/特气盘面 : 1. 功能设计 可分为 单钢瓶(1process)/ 双钢瓶( 2 Process ) / 三钢瓶(2 Process + 1 N2) 气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种：分别为单钢瓶、双钢瓶、三钢瓶。 （1） 单钢的设计通常使用于研究机构或实验室等。工艺制程尚未有量产，气体使用量小，现场 可随时协调停机进行钢瓶之更换，其优点节省空间、成本低、但需透过日常之管理与协调以免 中断工艺制程造成损失。 （2 ） 双钢与三钢常用于量产工厂，工艺制程不允许停机情况，当一支钢瓶使用完后，另一支备 用钢瓶（stand by ）会自动转为供气，此两种形式最大的差别是在 purge 管路的纯化氮气是以 钢瓶或厂务端供应，当 purge 用的 PN2 统一由厂务端来供应时，所有特殊气体供应系统不管 是否相容，全部连接到同一个供应源，会有较高的风险值；万一中央供应系统的 PN2 中断， 警报系统又损坏，恰巧两种不相容的气体同时使用 purge，此时极有可能发生爆炸的事件发生， 相同性质可使用同一瓶钢瓶来 purge 增加的成本及空间非常有限，是一种非常好的应变方式。 （3 ） 三钢气柜成本不会差很多安全性会是最好的，只要空间允许应最优先选择。 2 ．操作性设计： 一般气瓶柜都设计有两个特殊气体钢瓶，需自动切换的功能以达到连续供应不断气的目的，气态 气体通常以压力感应器来计算钢瓶的剩余量，若是液态蒸气压气体则以电子磅秤来侦测剩余量，当一瓶 用完时会切换到另一瓶。 操作上一般可分为全自动、半自动、手动三种方式。 全自动半自动的主要区别如下： 功能 半自动特气柜 全自动特气柜 满足设备工艺要求 是 是 自动切换 有 有 预留出口 可以 可以 紧急切断 有 有 远程关断 有 有 过流限制 可选 可选 PLC 控制 是 是 UV 探测 无 可以 自动吹扫 无 是 操作权限 无 可分三级，参数设置和一般操作. 安全报警 LED 显示 触摸屏 流程显示 丝网印刷 触摸屏 1 上海兄弟微电子技术有限公司 全自动特气柜 (Automatic Gas Cabinet) 半自动特气柜 (Semi-auto Gas Cabinet) 图片设备为上海兄弟微电子技术有限公司制造 图片设备为上海兄弟微电子技术有限公司制造 通常换钢瓶时会执行下列几种 Purge： (a)Pre-purge(换钢瓶前)