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第 29 卷 　第 4 期 稀 　有 　金 　属 2005 年 8 月 Vol . 29 №. 4 　　　　　 　　　　　　 　　　　　　　　　　 CHINESE JOURNAL OF RARE METALS Aug. 2005 Au/ Sn 界面互扩散特征 陈　松 , 刘泽光 , 陈登权 , 罗锡明 , 许 　昆, 邓德国 ( 昆明贵金属研究所 , 云南 昆明 65022 1) 摘要 : 从扩散机制 、扩散动力学、热力学以及相结构等方面 , 总结了室温范围内Au/ Sn 互扩散的主要特点。给出了Au/ Sn 互扩散中生成的 AuSn , AuSn2 , AuSn4 等金属间化合物的主要性质 。详细总结了不同 Sn 含量的Au/ Sn 扩散中, 初始态 、中间态和最终态的金属间化合物的形成 次序 、形貌 、分布 、演化等特征 。采用热力学方法定量计算了不足量的Au 或 Sn 的条件下Au/ Sn 扩散中各中间相的生成吉布斯 自由能 , 较好 地解释了中间相的演化规律 。给出了Au/ Sn 扩散的扩散数据 , 以及主要中间相的生长特点 , 介绍了 Kirkendall 效应导致的相关效应 。 关键词 : 金 ; 锡 ; 扩散 ; 热力学 ; 金属间化合物 ( ) 中图分类号 : TG146 . 3 　　文献标识码 : A 　　文章编号 :0258 - 7076 2005 04 - 0413 - 05 　　早在 1931 年 , Tammann 等[ 1] 对 Au/ Sn 扩散 问 意义和实用价值 。本文针对 Au/ Sn 扩散问题 , 从扩 题进行了初步研究 。从 20 世纪 70 年代开始 , 随着 散热力学 、动力学和扩散机制等方面 , 较系统地介 半导体 、微电子工业的发展 , 人们采用 XRD , TEM , 绍和分析了国内外近年来的相关研究及成果 。 Rutherford backscattery 等分析手段[2～5 ] , 对 Au/ Sn 薄膜扩散 问题 , 进行了深入研究[2～17 ] 。同时由于 1 　Au/ Sn 扩散产生中间相的特点 ( ) ( 图 1 为AuSn 二元相图[ 12 ,14 ,15 ] 。从图中可以看 ⅠB 族 Cu , Ag , Au 元素在 ⅢA 族和 ⅣA 族 In , ) ( 到 , 在室温范围内, Au/ Sn 扩散中至多可能出现的 Sn , Pb 元素中的扩散属于特殊的快扩散 间隙机 ) [2 ] β( ) ζ ζ ( ) δ 制 , 因此也受到材料学领域的关注 。 中间相 依 次 为 : Au Sn , , ′Au Sn , 10 5 同时对 Au/ Sn 扩散 问题的研究 , 对一些实际 (AuSn) , ε(AuSn2) , η(AuSn4 ) 。但实际上由于扩散 问题有重要指导作用 。如高 K 金饰 品的扩散焊 动力学因素 , 不一定所有中间相都出现 , 而只能