附华中科技大学光学与电子信息学院.DOC

附3．光学与电子信息学院（系） 硕士 研究生课程简介 课程名称：MEMS设计与集成技术 英文名称：MEMS Design and Integration Technology 课程类型：■高水平课程 □国际化课程 □高水平国际化课程 □一般课程 课程类别：□一级学科基础程 ■二级学科基础课程 □专业课程 考核方式：考试 教学方式：讲授 适用层次： 硕士■ 博士 □ 开课学期： 秋季学期 总学时/讲授学时： 32 /32 学分：2 适用专业：半导体芯片系统设计与工艺；微电子学与固体电子学 职 称 专 业 年 龄 学术专长 （负责人）罗为 讲师 电子科学与技术 33 微波声学MEMS器件 黄永安 教授 机械设计与制造 35 柔性电子器件与制造 课程教学大纲： 第1章绪论?1.0预览?1.2MEMS的本质特征?1.3器件：传感器和执行器?1.4总结? 第2章微制造导论?2.0预览?2.1微制造概述?2.2常用微制造工艺概述?2.3微电子制造工艺流程?24硅基MEMS工艺?2.5封装与集成?2.6新材料和新制造工艺?2.7工艺选择与工艺设计?2.8总结? 第3章电学与机械学基本概念?3.0预览?3.1半导体的电导率?3.2晶面和晶向?3.3应力和应变?3.4简单负载条件下挠性梁的弯曲?3.5扭转变形?3.6本征应力?3.7动态系统、谐振频率和品质因数?3.8弹簧常数和谐振频率的主动调节?3.9推荐教科书清单?3.10总结? 第4章静电敏感与执行原理?4.0预览?4.1静电传感器与执行器概述?4.2平行板电容器?4.3平行板电容器的应用?4.4叉指电容器?4.5梳状驱动器件的应用?4.6总结? 第5章热敏感与执行原理?5.0预览?5.1引言?5.2基于热膨胀的传感器和执行器?5.3热电偶?5.4热电阻器?5.5应用?5.6总结? 第6章压阻传感器?6.0预览?6.1压阻效应的起源和表达式?6.2压阻传感器材料?6.3机械元件的应力分析?6.4压阻传感器的应用?6.5总结? 第7章压电敏感与执行原理?7.0预览?7.1引言?7.2压电材料的特性?7.3应用?7.4总结 第章敏感与执行原理总结?.0预览?.1主要敏感与执行方式的比较?.2其他敏感与执行方法?总结? Foundations of MEMS, Chang Liu.2nd ed. Prentice Hall， 2012. 主要参考书： 1. 微机电系统基础(原书第二版)，刘昶著，黄庆安译。机械工业出版社，2013. 2. An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering，Second Edition, Nadim Maluf and Kirt Williams, Artech House (2004). 3.“Microsystem Technology”, by W.Menz, etc,2001 该课程所属基层教学组织（教研室、系）专家小组意见：（该课程是否适合硕士、博士研究生培养的需要？是否与本科生课程重复？是否有稳定的课程组和授课教师队伍？） 专家组长 专 家 年 月 日