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2017-09-08 发布于湖北
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p型透明导电氧化物薄膜的研究进展

25 6 444 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY( CHINA) 2005 1112 p 1 1* 1, 2 1 1 刘高斌冯庆李丽廖克俊王万录 ( 1 400044; 2 400046) Recent Advances of p-type Transparent Conducting Oxide Films 1* 1, 2 1 1 1 Liu Gaobin , Feng Qing , Li Li , Liao Kejun and Wang Wanlu (1Dep artment of Applied Physics, Chongqing University, Chongqing 400044, China; 2Department of Physics, The Normal University of Chongqing , Chongqing 400046, China) Abstract The late t progre in variou a pect of p-type tran parent conducting oxide film, including material characterization, film growth technology, and it application in fabrication of electronic device and en or , wa tentatively reviewed. Keywords Semiconductor thin film , p-type tran parent conducting thin film , Review, Tran parent oxide, Po itive tran parent device p , p p : O472 : A : 1672-7126( 2005) 06-0444-05 , , , , p , , LED , , , , , p , [ 1] [ 2] 3 1997 , Kawazoe , n , CuAlO2 p , , , p , p , p , [ 3] , pn UV- pn FET LED[4, 5] FET[ 6, 7] ,