原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
溅射气氛中O_2_Ar比及热处理对直流反应_省略_制备玻璃基TiO_2薄膜结构与
第 卷 第 期 !#$ %’ ($ )
% ) 稀有金属材料与工程
--% 年 ) 月 ./.0 *01/2 */10.3/24 /(5 0(63(00.3(6 *+, --%
溅射气氛中C L /K 比及热处理对直流反应磁控溅射
法制备玻璃基1BC 薄膜结构与亲水性的影响
8 8 8
赵青南 ，刘保顺 ，赵修建 ，
/$ S$ 4#OBXHF
9 8$ 武汉理工大学，湖北 武汉@%--;-
9 $ CKOXN 4F+FO YNBZOKGBF,’ QKZ+##BG C. =;%% 8’ Y4/
摘 要 在工作气压为 的氧氩气混合气氛下，改变氧与氩的流量比9 ，在预先镀 左
[ -$ -U+ C L /K[ -$ 8-’ -$ -’ -$ %- 8-NR
（ ）
右4BC 的普通玻璃基片上用直流 5$ Q$ 磁控溅射法制备了%--NR 左右的1BC 薄膜试样。离线在)--W 、氧气氛下对试样
（ ） （
热处理 。用 射线光电子能谱 和 射线衍射仪 分别研究了试样热处理前后的表面元素组成、离子状态和物
H \ \U4 \ \.5
相组成，用接触角分析仪测试了试样在紫外光9 Y! 照射后的水润湿角。
关键词：玻璃基1BC 薄膜；亲水性；直流反应磁控溅射；氧气和氩气流量比
中图法分类号：C?@; 文献标示码：/ 文章编号：8--78)\ 9 --% -)7-%%=7-)
1BC 薄膜在紫外线下的高的亲水性，对镀1BC 膜 化学计量比高并呈锐钛矿结构。
D 8 E
玻璃的光催化自洁净和防雾等功能有重要的影响 。 本文根据实验结果主要讨论直流反应磁控溅射
制备 膜的方法有很多，如：溶胶 凝胶法、溅射法 法镀 薄膜时，溅射气氛中氧气与氩气的比例及热
1BC 7 1BC
D ，E
等 % ，其中直流磁控溅射法的应用最为广泛。磁控溅 处理对薄膜表面组成、离子状态、结晶相和亲水性的
射法镀制1BC
文档评论（0）