电子透镜的像差.pdfVIP

电子光学 第五章 电子透镜的像差 从前面的章节中，我们知道旋转对称电磁场对带电粒子具有聚焦成像 的特性，由此可以构成圆电子透镜。 根据圆电子透镜结构和形式，以及轴上的电位和磁位分布可以定义 不同形式的圆电子透镜。 根据旁轴轨迹方程可以得到圆电子透镜对带电粒子具有的理想聚焦成 像性质。 此时，得到的像是几何相似的，清晰的，原因是理想聚焦成像是建立 在以下几个条件下： （1）电磁场的严格旋转对称； （2 ）电子满足近轴条件，即建立在求解高斯（旁轴）轨迹方程的基础上； （3 ）电子的初速相同（没有能散）； （4 ）电子的密度不大，忽略了空间电荷影响； 5.1像差产生的原因和像差的分类 1．像差产生的原因 但实际情况下，上述的假设条件是不能满足的，如： （1）旁轴条件的不满足。 要达到旁轴轨迹的条件，需要限制光阑孔来保证旁轴条件，但是，需要一定 的粒子束流密度时，则需要较大的孔径保证，这时电子运动可能不满足旁轴条件； （2 ）过小的光阑孔会发生衍射现象； （3 ）旋转对称条件的不满足。 由于电极加工和装配的不对称破坏了旋转对称条件； （4 ）初始条件能量和加速能量一致性的不满足。 由于初始速度分散和电源的不稳定破坏了能量的一致性等。 这些条件都破坏了旁轴轨迹方程的假设条件，由于与理想成像条件不一致， 因此都可能引起图像的模糊，发生像的误差，这种相对于旁轴离子的理想 成像的误差称为像差。 2 ．像差的分类 像差产生的原因不同，可分为下列几类： （1）由于破坏了电子运动的旁轴条件，引起的像差称为几何相差； （2 ）由于电子或离子源发出的电子或离子不都具有单一速度或动能，会产生 初始动能分散；而且，加速电压的不稳定也会产生能量分散，这种由于 动能分散而引起的成像误差称为色差。 （3 ）由于旋转对称条件被破坏，材料的均匀性，加工和装配的不对称性，也 可引起的成像误差，这种误差称为机械像差； （4 ）带电粒子的相互库仑作用力，造成电子束的发散，也可能造成像差，这种 像差称为空间电荷像差； （5 ）当限制膜孔很小，会产生衍射现象，这种像差称为衍射像差。 5-2几何像差 1.几何像差的定义 （1）电子束理想的高斯像 从上面的讨论中我们知道，当电子满足旁轴轨迹时， 我们认为电场和磁场的表示式中，  关于 r 和 r 的高阶项是极小值，因此，它的高阶项收敛 很快，可以忽略，利用一级近似，这时，电子在r方向的作用力与  r 和 r 的关系是线性关系，因此得到像放大率是一个线性放大率。 (2) 电子束远离轴时的出现的像差 当电子远离轴时，电场和磁场的表示式中，关于  r 和 r 高阶项 就不是一个极小量， 高阶项收敛很慢，不能忽略，这时 r 方向的 作用力与  r 和 r 的关系就不是线性关系，而出现高次项， 如三次 方项、五次方项等。 此时，电子的作用力与近轴情况下的作用力表示式不同，即此时作用力 不相等，如仍采用近轴条件表示，产生的误差太大，此时，电子不能会 聚在一个点上，实际像与理想像之间产生了偏差、放大或改变成其它形 状的像，既产生了几何像差。 2. 几何像差的数学表示 几何像差是实际轨迹与理想的高斯轨迹在同一电磁场，同样初值条件下发 生的轨迹偏差。 定量的、横向的几何像差指的是电子在高斯像平面上，实际轨迹与高斯轨 迹的数学误差，其数学表示形式为： x (z ) x (z ) x (x ) i i g i y (z ) y (z ) y (x )