在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量影响因素分析.pdfVIP

第34卷 第1l期 稀有金属材料与工程 、b1．34．No．1l 2005年 11月 RAREMElALMATERIALSANDENGINEE刚NGNov∞bcr2005 在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹-l生模量 的影响因素分析 朱强1，蒋庄德1，赵则祥2，王海容1，杨树明1 (1两安交通大学机械制造系统工程围家重点吏验室，陕两西安710049) (2中原T学院，河南郧卅【450007) 摘要：对在纳米压几仪E进行悬臂粱法测量弹性模量的}要影响冈素进行了综合分析，主要包括加载系统悬置弹簧 剧度、压头压入，梁沿截而宽度方向挠曲、粱支座附加挠曲等影响。在考虑这些周素的基础上，得剑了悬臂梁的有效 其弹性模量为155GPa±95％GPa，与参考文献值符合较好。表明存纳米压入仪上进行悬臂粱法测量，只有综合这些影 响因素后，才能获得有效、准确的弹性模量测量结果。 关键词：悬臂粱法；微构件；弹性模量：MEMs；纳米压入仪 1155 中图法分类号：TG 文献标识码：A 文章编号：1002．185x(2005)1l一1842—04 刁÷意图。先将微悬臂梁试样固定，在其表面确定好加 1 前言 载位簧后，将其定位J：压头下方。驱动纳米压入仪加 薄膜、微构件和小体积利料的力学性能对MEMs载系统，带动乐头以一恒定速率推动悬臂梁端部，使 产品的设计、制造及可靠性分析具有重要意义。目前， 其发生弯曲变形，在此过程中同步记录载荷和挠度数 这方面研究常用的测量方法主要有纳米压入法、微梁 据。当弯曲到预定的挠度后，载荷保持几秒钟不变， 弯曲法、鼓泡法、微拉伸法等【l2】。纳米压入法操作简 然后再以同样速率卸载。 单、方便，可获得多种力学性能参数，但压头尖引起 的应力会改变薄膜材料结构口】，而且必须考虑基体的 影响。微梁弯曲法克服了以上问题，在实际中得到广 泛应用。微梁弯曲法实验具体町采用悬臂梁弯曲、三 点弯曲，通常在纳米压八仪或原子力显微镜(AFM) r进行。悬臂梁法是一种有效的测量方法【“。 在利用悬臂梁法测量薄膜、微构件的弹性模量、 屈服强度等方面，人们已开展了很多研究工作【。“， 但对测量中的影响因素全面分析相对较少。本文对在 纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的土要影 响因素进行了综台分析，主要包括加载系统悬置弹簧 刚度、压头压入、粱沿截面宽度方向挠曲、梁支座附 图I 悬臂粱法实验示意图 加挠曲等影响，在此基础r结合实验，对分析的有效 Fig．1Sche巾atlc microcantilever’sdenectlon oftesti“g 性进行了验证。 在小变形范围内，根据弹性弯曲理论，矩形截面 2悬臂梁法测量原理 悬臂梁的挠度、载荷关系为‘3】： 图1为在纳米乐入仪r进行悬臂梁法弯曲实验的 wo=4JD，3(1一v2)／(6，3毋 (1) 收到初稿日期：2004—07—2I；收到修改稿日期：2004．1l—15 基金项目：国家重点基础研究发展规划项目(G1999033103) 万方数据 期 朱强等：在纳米压入仪上进行悬臂粱法测量弹性模最的影响因素分析 ·1843· 3 其中，w。和P分别为挠度和载荷，，，6，f分别为梁