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有序可控纳米银球阵列对 a -SiN.PDFVIP

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  • 2017-08-14 发布于天津
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有序可控纳米银球阵列对 a -SiN.PDF

    南京大学学报自然科学第卷第期年月有序可控纳米银球阵列对薄膜光致发光增强的研究徐奇峰张鑫鑫马忠元吴仰晴林泽文徐岭李伟陈坤基黄信凡徐骏冯端南京大学电子科学与工程学院南京摘要采用聚苯乙烯纳米小球自组装技术结合激光退火方法制备了三种不同尺寸纳米银球阵列研究不同尺寸纳米银球阵列对非晶掺氧氮化硅薄膜的光致发光的影响首先在型硅衬底上铺有三种不同尺寸的聚苯乙烯纳米小球再采用磁控溅射系统蒸镀银薄膜然后用激光对该银薄膜进行处理最后采用等离子体增强化学气相沉积系统在样品表面生长非晶掺氧氮化硅薄膜实验结果表明相比于未引

    ( ) 南京大学学报 自然科学 第 卷 第 期 , 53 3 Vol.53 No.3 JOURNALOFNANJINGUNIVERSITY

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