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EVO 系列扫描电镜 简明应用指南 华南理工大学—蔡司公司 电子显微镜合作实验室 1 目 录 第一章 基本概念 …………………….. （3 ） 第二章 电子束与样品相互作用 …….. （5 ） 第三章 电镜结构和工作原理 ……….. （7 ） 第四章 电镜操作规程 ……………… （11） 第五章 操作参数的选择和调整 ……. （12） 第六章 成像 ….……………………… （16） 第七章 微区成分分析 ……………... （20 ） 第八章 样品制备技术 ……………... （21 ） 参考文献 致 谢 2 第一章 基本概念 一．概述 1．人眼分辨率 平时看报或看书，眼睛通常距离报纸 A 0.2 mm 250mm ，这时人眼的分辨能力可区分两个最近 B 250 mm 眼睛 的物点为 0.2mm，这就是人眼分辨率限度，视 图 1 力通过校正后也应该如此。如果想要观察再小 的物体，必须借助光学仪器。 2 ．光学放大镜 这是日常生活中最常用的、最简单的光学仪器。如果光镜放大倍率为 10 x ，放到物体前面，人眼可以分辨 0.02mm 间距的两个点，人眼分辨率提高 10x。 如果还要观察更小的物体，就要使用显微镜。 3 ．光学显微镜 利用物镜和目镜组合，放在物体前面，如果放大倍率达到 1000x，人眼 分率率改善到 200 nm 。以此类推，是否显微镜的放大倍率越高，对人眼看的 就越精细？实际并非如此，当放大倍率高到一定程度时，看到的不是两个分 离的点，而是两个相互重叠的弥散园。仪器分辨率的提高受到照明光源波长 λ的限制，其显微镜的分辨率范围r / 2 。当利用波长λ=390nm～760nm 0 的可见光照明物体成像，分辨率r 200nm ，这是光学显微镜的分辨率限度。 0 为了进一步提高分辨率，可以使用波长更短的电子束照明物体成像。 4 ．电子显微镜 在真空中高速飞行的电子束与可见光有相似特性：直线传播，可以利用 电磁透镜聚焦成像，其波长约为可见光的十万分之一。利用电子束作为照明 源，分辨率显著改善，下表为目前电镜分辨率和放大倍率的比较。 放大倍率