Nozzle分解清扫手顺喷嘴分解清洁步骤.PDF

捷胤總合研究所   .tw Nozzle分解清掃手順(噴嘴分解清潔步驟) 1－1．主言 : Nozzle 分解清掃程序書是使用在調節 Nozzle内部的清掃為主的手順書。 Nozzle前端、内面的高精 度加工、當損傷產生時對塗布的均勻度影響很大。慎重的作業程序是絕對必要的。 1－2．基本構成 Nozzle溝幅調節的方式、A固定板（位於右側）、B固定板（調節螺絲側）、2枚的側面壓板、主要 由 4組件構成（圖 1参照） 。A・B固定板貼合、再將両端的壓板貼合。（圖１参照） 【圖１】 1 1－3．Nozzle 測定項目 ・真直度 Nozzle構成由 A・B固定快先端、壓合面及塗佈面、使用非常的高精度的研磨加工。在 1500mm的 長度下、其真直度為 3μm 以内的規格値內 。 吐出間隙 ・ 光阻的吐出間隙大小和膜厚分布的影響有直接的關係。調節螺絲的鎖緊和放鬆可直接改變塗出的 間隙。 在 1500mm的面積調節的精度要求、全幅實測値 5μm 以内、両端 100mm除外中央部 20 次近似値 3μm 以内的規格値範圍內 。 1－4．作業時間 （將 Nozzle自設備端取出的時間） 2 人・・・2hr 1－5．保養周期 建議採取固定枚數及使用時間的計算來進行定期清掃保養。 當有產生較多的異物時、膜厚異常發生時、進行分解清掃並再組合是絕對必要的工作。 1－6．準備工具 溝幅調節用扭力板手 Ａ・Ｂ固定螺栓-六角穴付SUS 製 M10×45L‐24個 調節間隙用天板 天板固定螺絲‐六角穴付 SUS 製 M10×20L‐24個   天板位置固定器  天板位置固定器用螺絲‐六角穴付 SUS 製 M8×16‐2個   側面壓板   側面壓板固定螺絲 ‐六角穴付 SUS 製 M6×20L‐10個 ‐ （12個）   調整用螺絲  SUS 製 M6×100L 6個   保護外蓋   六角板手‐(1.5mm(調節螺絲用 ) 2.5mm(押入螺絲用 ) 3mm （配管固定用） 5mm(側面壓板固定 用）  6mm(調節間隙用）  8mm(A‐B壓板固定用）   扭力板手‐(5mm幅用扭力 7.4N ・ｍ)(8mm幅使用扭力 34N ・m)  金尺  反轉冶具   吊裝用金具   吊裝用金具螺絲 ‐M8×35‐6個   吊具 2 2－1 作業手順 1. Nozzle 分解清掃實行前要先執行、配管洗浄（PIPING WASHING ）及（EMPTY PURGE ）的動作。 2. Nozzle取附時配管部品要先取出、使用吊具台車載運、基座（定盤）移動出。   3. Nozzle側面使用吊具金具來取付。 （圖２参照）      Nozzle吊具金具