PVD涂层学习.pdfVIP

我们可对塑胶模具、冲压模具、压铸模具、各种刀具、各种零部件、易损件进行涂层；通过涂层，可以 增加工件的表面硬度、增加耐磨性、增加耐腐性、增加抗粘性、减少摩擦、延长产品的工作时间或使用寿 命,从而提高生产率、降低生产成本、提高加工可靠性、提高质量、缩短交货时间、减少对环境的影响并节 约资源、提高企业竞争力。 我们的涂层种类有：TiN 氮化钛；TiCN-MP 氮化炭钛；AlTiN 氮化钛铝； CrN 氮化铬；Unicut 万用紫 钛；nACo 纳米结构；DLC 类金刚石等涂层。 一、涂层工艺 刀具涂层技术通常可分为化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）两大类。 1． CVD 技术被广泛应用于硬质合金可转位刀具的表面处理。CVD 可实现单成份单层及多成份 多层复合涂层的沉积，涂层与基体结合强度较高，薄膜厚度较厚，可达 7～9μm，具有很好的耐磨性。 但 CVD 工艺温度高，易造成刀具材料抗弯强度下降；涂层内部呈拉应力状态，易导致刀具使用时产生 微裂纹；同时，CVD 工艺排放的废气、废液会造成较大环境污染。为解决 CVD 工艺温度高的问题， 低温化学气相沉积（PCVD），中温化学气相沉积（MT-CVD）技术相继开发并投入实用。目前，CVD （包括 MT-CVD）技术主要用于硬质合金可转位刀片的表面涂层，涂层刀具适用于中型、重型切削的 高速粗加工及半精加工。 2． PVD 技术主要应用于整体硬质合金刀具和高速钢刀具的表面处理。与 CVD 工艺相比，PVD 工艺温度低（最低可低至 80℃），在 600℃以下时对刀具材料的抗弯强度基本无影响；薄膜内部应力 状态为压应力，更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层；PVD 工艺对环境无不利影响。PVD 涂层技术 已普遍应用于硬质合金钻头、铣刀、铰刀、丝锥、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理。 PVD 涂层原理 物理气相沉积（PVD）在工艺上主要有 （1）真空阴极弧物理蒸发 （2）真空磁控离子溅射两种方式。 （1）阴极弧物理蒸发（ARC） 真空阴极弧物理蒸发过程包括将高电流，低电压的电弧激发于靶材 之上，并产生持续的金属离子。被离化的金属离子以 60～100eV 平均能量蒸发出来形成高度激发的离子束， 在含有惰性气体或反应气体的真空环境下沉积在被镀工件表面。真空阴极弧物理蒸发靶材的离化率在 90% 左右，所以与真空磁控离子溅射相比，沉积薄膜具有更高的硬度和更好的结合力。但由于金属离化过程非 常激烈，会产生较多的有害杂质颗粒，涂层表面较为粗糙。 （2）磁控离子溅射（SPUTTERING） 真空磁控离子溅射过程中，氩离子被被加速打在加有负电压的 阴极（靶材）上。离子与阴极的碰撞使得靶材被溅射出带有平均能量 4～6eV 的金属离子。这些金属离子沉 积在放于靶前方的被镀工件上，形成涂层薄膜。由于金属离子能量较低，涂层的结合力与硬度也相应较真 空阴极弧物理蒸发方式差一些，但由于其表面质量优异被广泛应用于有表面功能性和装饰性的涂层领域中。 二、涂层种类 由于单一涂层材料难以满足提高刀具综合机械性能的要求，因此涂层成分将趋于多元化、复合化；为满 足不同的切削加工要求，涂层成分将更为复杂、更具针对性；在复合涂层中，各单一成分涂层的厚度将越 来越薄，并逐步趋于纳米化；涂层工艺温度将越来越低，刀具涂层工艺将向更合理的方向发展。 PVD 涂 涂层 涂层 涂层 摩擦 耐热 涂层 应用 层种类 特点 硬度 HV 度 μm 系数 温度 颜色 范围 TiN 单层 2300 2-3 0.6 600 金黄 应用最为普遍，具有高硬度高耐磨性寄耐 氧化性