多晶硅氢化炉的电气系统 electrical system of hydrogenation furnace for polysilicon production.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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多晶硅氢化炉的电气系统 electrical system of hydrogenation furnace for polysilicon production.pdf

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多晶硅氢化炉的电气系统 electrical system of hydrogenation furnace for polysilicon production

} 李世振罗健明汪浩吴刚，。东方电气自动控锚工程有限公司，lglJII德搬618000 k。～～。。…；……一…… ，，…… ，一。， j 摘要：氢化炉是西门子法生产多晶硅企业的重要设备，它可将还原炉尾气中的有毒有害物四氧化硅转化为多晶硅生产的原料三氯氢硅。本文介绍了氢化炉的主要电器设备，并根据氢化生产的流程和工艺，说明选择这些电器设备参数的原则和依据。关键词：多晶硅生产；三氟氢硅；四氯化硅；氢化炉；电气系统中图分类号：TK219 文献标识码：B 文章编号：1001—9006(2012)01-0063一04 Electrical of Furnace SystemHydrogenation for Production Polysilicon LlShi-zhen，l∞oJian—ming,WANGHao，WU(；Qng ElectricalAutecontrol (Dondang EngineeringCo．，Ltd．618000，Deyang，Siehuan，China) of with usedto conditionsfor Siemens furnace，akey process，isprovide Abstract：Hydrogenationsystempolysiliconproduction main of reactionofsilicontetrachloridewithtriehlorosilane．Inthis electrical equipments hydrogenation paper，the hydrogenation furnace oftheseelectrical arediscussedindetailinaccordallCeofthe parameters equipments hydrogenation a聆presented．The process· furnace；electrical Keywords：polysiliconproduction；trich]orosilane；silicontetrachloride；hydrogenationsystem 国内工业化生产多晶硅，目前大多采用改良西成品硅棒。门子法。氇还原炉副产物四氯化硅SiCI。：；女‰ 。 …∥—掰擀西门子法亦被称为三氯氢硅(SiHCl，)氢还原法，是在还原炉内通过SiHCl，发生氢还原反应来还原炉内的氢还原反应，是—个非常复杂的过程。生成多晶硅的方法。该方法的生产原料是SiHCl，还原炉出来的尾气中，含有大量的副产物四氯和氢气H：。