多晶硅生产用还原炉高压启动装置的研制 design of high-voltage initiating assembly of reduction furnace for multicrystalline silicon production.pdfVIP

。瓤。雷。。。。凯。。。，熊向杰，。觑…袭方毫气盘动控剑工程有跟公嚣，I毽Jtl镶瓣6，删 摘要：介绍了一种用于多晶硅生产用的还原炉高压启动装置。该装置能够实时检测硅芯中的电流和其变化趋势，自动调整 施加在硅芯上的电压，从而实现多晶硅生产中高压启动和预加热阶段的自动化控制，并最终实现与中压加热设备的可靠衔接。 关键词：多晶硅；还原炉；高压启动 中图分类号：TM38 文献标识码：A 文章编号：1001-9006(2010)02-0067-04 of of InitiatingAssembly DesignHigh—voltage ReductionFurnacefor SiliconProduction Multicrystalline LEI Kai,XIONG Xiang-jie ElectricAutocontrol (Dongfang EngineeringCo．Ltd．，618000，Deyang,Sichuan，China) introducesa ofreductionfurnacefor of silicon．Silicon Abstract：This high—voltageassembly muhicrystalline paper startup production currentandits trendcflnbemonitoredinthe the of silicon change equipment,withpurposeadjustingvoltage at fromthe devicetoa onecanbeachievedfmal progressionhigh-voltagemiddle—voltage stage． words：multierystallinesilicon；reductionfurnace；high—voltage Key initiating 在多晶硅还原炉生产中，供电设备以多晶硅 炉中个别硅芯因过电流而断裂，这不仅浪费原材 硅芯为负载，对其施加电压使其导通产生电流， 料，也浪费电能； 电流流过硅芯产生热量使得还原炉的温度在生产 (2)手动倒级无法连续调整施加在硅芯上的 过程中维持硅芯生产的温度条件。从硅芯的电阻 电压，容易产生较大的谐波而污染电网； 特性上看，可以将硅芯的加热过程分为两个阶段： (3)手动倒级需要操作工现场操作，工作环 高压预加热阶段和中压加热阶段。中压加热阶段 境恶劣，同时也存在安全隐患； 采用的供电设备，目前国内普遍购买国外的自动控 (4)手动倒级完全由人工完成，效率低下。 制设备实现。而高压预加热阶段采用的供电设备， 硅芯的预加热过程中，最为重要的是控制硅 目前国内普遍采用手动控制的方式来实现[¨]。 芯中的电流：电流既要足够大以满足击穿硅芯的 手动预加热方式是通过人工观察硅芯颜色， 需要，又不能过大以避免硅芯断裂。手动倒级的 人为判断硅芯温度，手动倒级来调节硅芯所承受 方式全由工人凭经验操作，不能准确检测