多晶硅太阳电池化学腐蚀织构的研究进展 research progress of chemical texture technology for polycrystalline silicon solar cells.pdfVIP
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多晶硅太阳电池化学腐蚀织构的研究进展 research progress of chemical texture technology for polycrystalline silicon solar cells
电池工业
第15卷第4期髟笏纭增盘吻身易么锣 2010年8月
多晶硅太阳电池化学腐蚀织构的研究进展
费新坤,付承华,张祥功
(中国船舶重工业集团第712研究所,湖北武汉430064)
摘要:通过多晶硅的腐蚀织构是提高多晶硅太阳能电池效率的方法之一。多晶硅绒面技术除了HF—
HNO,混合酸溶液腐蚀织构之外,最近还发明了一些新型化学腐蚀织构技术;介绍了改进酸腐蚀多
晶硅绒面技术和碱液腐蚀绒面技术,并对这些新技术进行了点评。
关键词:太阳能电池;多晶硅;绒面;腐蚀
of texture for
Research chemical
progress technology
siliconsolarcells
polycrystalline
FEI
Xin-kun,FUCheng-hua,ZHANG
Xiang-gong
N0.712
(China CorporationInstitute,Wuhan,Hubei430064,China)
ShipbuildingIndustry
Abstract:Thecorrosiontextureof siliconwasoneofthemethodsto the
polycrystalline improve
of new texture
siliconsolarcells.Besides method.Somecorrosion
efficiencypolycrystalline HF—HN03
of siliconwereresearched.Inthis of acidic
technologies paper,technologyimproved
polycrystalline
corrosiontextureandalkalinecorrosiontexturefor siliconwere these
mulficrystallineintroduced,and
new wereevaluated.
technologies
words:solar
Key silicon;texture;corrosion
cell;polycrystalline
多晶硅的表面织构化减少了光在太阳电池表面 为了获得高性能的多晶硅表面织构,人们研究了很
反射损失是提高光电转化效率的重要方法之一。表 多多晶硅绒面技术,目前主要有机械刻槽【1-31、反应离
面织构是指经过一定表面处理后,太阳电池表面呈 子腐蚀M和酸腐蚀闻等方法。尽管这些绒面方法都
现凹凸起伏的角锥状表面形态,使光在太阳电池表 降低了光的
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