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杭州电子科技大学 毕业设计（论文）开题报告 题 目 驻波网格的陷光微结构加工研究 学 院 机械工程学院 专 业 机械设计制造及其自动化 姓 名 王魏魏 班 级 学 号 指导老师 巢炎 一：综述本课题国内外研究动态，说明选题的依据和意义 1.1 研究背景与存在的问题 2010 年《国务院关于加快培育和发展战略性新兴产业的决定》指出，我国计划用20 年时间，使新能源、高端装备等七大战略性新兴产业整体创新能力和产业发展水平 达到世界先进水平。中国目前已是世界上最大的光伏电池制造国。单晶硅光伏电池已广泛用于宇宙空间和重要地面设施，但单晶硅光伏电池需要消耗大量高纯硅材料，制造工艺复杂，光电转化率低。多晶硅光伏电池没有光致衰退效应，材料质量有所下降时也不会影响光伏电池性能，受到产业界欢迎，多晶硅已占据光伏市场的 53%[1]，但多晶硅光电转化效率比单晶硅的还要低2.5%，提升多晶硅光伏电池光电转化效率已成为光伏技术发展前沿学术研究热点之一。 硅光伏电池光电转换率低，一个重要原因在于光吸收损失。光吸收损失主要源于以下三方面：表面反射损失，电极材料覆盖损失，晶片透射损失。为了减少光吸收损失，陷光微结构加工引入“黑色表面”的制造方法[2、3]。光伏技术研究文献表明，美国许多著名大学致力于硅表面高级陷光微结构加工，研究者开始仿制生物的陷光微结构功能，使光线在硅板停留的时间加长，加大光子被吸收提高转换成电能的概率，让更多电子释放，使光伏电池转化效率更高。实验测量表明[2]，飞蛾眼部一个个“鼓包”似的微结构(如图 1 所示)，可以让表面对光线反射显著减少。在 2010 年《纳米快报》 上，斯坦福大学崔屹博士报告他制造的光伏电池，把硅沉淀到凹凸不平的表面上，结果与使用同等数量材料的平整表面相比，能多吸收 42%的光线[4]。 当前，由于资源和成本等因素，多晶硅黑色表面加工多采用 HF/HN03 湿法腐蚀体系加工[5]。湿法加工最大缺点是反应的自催化性，微结构制造过程难以控制，微结构形态也比较简单(如图 2所示)，结构似碗状，加工经常发生连通凹塌现象；此外，减薄硅片厚度成为降低硅光伏电池生产成本最有效手段。在硅片变薄的同时，对光吸收效率要求 也迅速增加，增强陷光微结构光吸收效率对保持薄片晶体硅光伏电池性能稳定和提升光 电转换效率十分重要。 本项目受法拉第驻波思想(如图 3所示)的启迪，在多晶硅湿法加工技术基础上，提出“驻波网格”控制离子、超声波空化激发离子泡思想，优化湿法加工原理，把驻波图案映射成陷光微结构，建立网格化的加工理论和方法，从而改善可控性、稳定性和提高高级陷光微结构可制造性,同时要求成本较低，原理简单可行。 图 1 蛾眼的微结构 图 2 陷光微结构 SEM 图 3 法拉第驻波 1.2 国际研究现状 光伏电池是一种利用光生伏特效应而把太阳能直接转换成电能的装置，其发展历史可以追溯到 1839 年，法国物理学家 Alexsander Edmond 发现了光生 伏特效应。硅光伏电池则直到1946年才研制出来。1954年，科学家将硅光伏电池的转换效率提高到 6%左右。1974年，Haynos等人利用单晶硅的各向异性腐蚀特性，在单晶硅表面腐蚀得到许多类似金字塔的特殊几何形状，转化效率稳定在 15%左右。随 后，各国学者竞相研究提高陷光微结构光吸收效率的理论和方法。 R.B. Heimann 等于 1984 年采用化学腐蚀法制作多孔硅层氧化膜减反射膜，得到了 较好的减反射性能[6]。 日本的 Hidetaka Asoh 在 2005-2007 年提出用晶体模板做掩膜(如图 4 所示)，用电化学的方法进行选择性腐蚀，大面积地制造预期结构：硅表面凸阵型或周期性的孔洞阵列，间距和大小尺寸可以在微米到几十微米中精确控制[7]，但成本高。韩国的Jinsu Yooa于2007年提出了随机反应离子刻蚀在一定的条件下，RIE 用 SF6/O2 为反应气体控制压力和流速等参数，无需任何掩膜刻蚀出高密度的针状陡峭腐蚀坑，直径范围约60nm。此方法能制较大面积、周期性结构，但生产效率较低，而且设备价格昂贵[8]。 美国 MIT 机械工程学院教授萨克斯 2008年采取 3项重要创新提高光伏电池转化效率，其中，最关键的是在硅表面增加粗糙纹理，使硅晶片吸收更多的光[9]。2009意大利学者开始测量分析蝴蝶翅膀微结构(如图5所示)对太阳能吸收作用和制造原理。 西班牙的 B.Gonzalez-diaz于2008年以酸腐蚀液为基础，研究了不同 HF/HN03 质量比下多晶硅粗糙化微结构特征，给出了一