原创力文档- 1、本文档共4页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
多弧离子镀技术及其应用姜雪峰
2006年 10月 重庆大学学报(自然科学版) Oc.t 2006
第 29卷第 10期 Journal of Chongqing University(NɑturɑlScience Edition) ol. 29 No. 10
:1000 -582X(2006)10 -0055 -03
*
姜 雪峰,刘 清才,王 海 波
(重庆大学 机械传动国家重点实 室, 重庆 400030)
:多弧离子镀技术是离子镀技术的 一种改进方法, 它是把弧光放电作为金属蒸发源的表面涂
层技术. 由于多弧离子镀技术具有镀膜速度高, 膜层的致密度大, 膜的附着力好等特点,使多弧离子镀镀
层在工具、模具的超硬镀膜、装饰镀膜等领域的应用越来越广泛,并将占据越来越重要的地位.介绍了多
弧离子镀技术的原理、特点,并在总结和归纳了以往大量实 研究及国内外文献的基础上, 分析了多弧
离子镀技术的工艺发展及其在各 个领域的应用,为今后多弧离子镀技术的研究与应用提供了有利借鉴.
:镀膜;多弧离子镀;氮化钛
:TG 174. 444 :A
.
20 60. ,
, 、, .
, , 80, (
Mult-iArc. ),,
,,
1 多弧离子镀的原理
.
[1]
1 ,
、、.
- 1
. 10 ～10 Pa,
,,
,,
,, ,
,,
,,
.
, .
、. ,
5
1 ～100 μm;, 10 ～ 1
7 2
10 A /cm . , 2 多弧离子镀的特点
,,
, , 20 70
,,, , :
. 60%～90% 1),
* :2006- 06 - 11
:
:(1974 - ), , , , , .
56 重庆大学学报(自然科学版) 2006年
,. 2 ～3, TiN
,. ,, TiN
2), 80%, . , TiN
,. 1 ～5.,
3). 、.
. 4. 2 多弧离子镀膜技术在车辆零部件上的应用
4), .
5), , .
. ,. 1).
,
3 多弧离子镀工艺的发展
文档评论（0）