MEMS微波_毫米波TaN薄膜负载电阻的设计与实现_李倩.pdfVIP

第 ５ 卷 第 期 微纳电子技术 Ｖ ４ ５ ｏｌ．５４ Ｎｏ．５ 　 　 年 月 ２ ２０１７ ５ ＭｉｃｒｏｎａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＴｅｃｈｎｏｌｏ Ｍａ ０１７ 　 ｇｙ ｙ 　 　 櫴 毷櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴毷 ＭＥＭＳ与传感器 毷 櫴 櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴毷 ／ Ｍ 微波 毫米波Ｔ 薄膜负载 ＥＭＳ ａＮ 电阻的设计与实现 １ ２ ２ １ ， ， 拥军 ， 李 倩 汪 蔚 杨 杨 志 　 　 　 （ ， ； １ 专用集成电路重点实验室 石家庄 ． ５００５１ ０ 　 中国 ， ） ２． 电子科技集团公司第十三研究所 石家庄 ５００５１ ０ 　 摘 ： 工 ／ ， 要 开展了一种基于ＭＥＭＳ 艺的微波 毫米波薄膜负载电阻的结构设计和工艺实现 该负载 ， ， ， 电阻选择ＴａＮ作为薄膜材料 高阻硅为基底材料 仿真设计并优化了三种新型结构 给出了一 薄膜负载电 ， 套 ＭＥＭＳＴａＮ 阻制备的工艺流程 并针对该工艺流程方案进行了关键参数的工艺误