低倍率高数值孔径显微镜组设计.PDF

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低倍率高数值孔径显微镜组设计

E-mail: ichhsieh@.tw FuShiangYang@.tw (tube lens) (wafer probe) NANumerical Aperture, (Preview) Mitutoyo 2X NA 0.055 NA 0.17 20mm~28mm NA (infinity-corrected)()(tube lens) Mitutoyo 200mm1002 NA NA 1 Infinity-corrected [1] Mitutoyo200mm 200mm 100mm50mm 2 NA f=200mm f=100mm reversed telephoto (back focal length) (effect focal length) 20mm~28mm 50mm reversed telephoto lens (lens power) BFL. 2 EFL. BFL. Reverse telephoto lens parfaocal length=95mm, (detachable lens) C (c mount) 2NA 0.21 0.84X NA0.16

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