全光纤白光干涉型光纤传感器.PDF

传 感 技 术 学 报 第2期 全光纤 白光干涉型光纤传感器 李川 ，张 以谟 ，刘铁根 ，李欣 ，陈希 明 (天津大学现代光学仪器研 究所光 电信息技 术科学教育部重点实验室 ，天津 300072) 摘要 ：根据传统光学干 涉原理研制 出的相位调制型光纤传感器，其 突出优 点是曼敏度 高．但 却 只能进行相对 测量 ，即只能用作 变化量 的测量 ，而 不 能用 于状 态量的测量．因此 ，本 文介绍 了能 实现 绝对 测量 的全光纤 白光干 涉型光 纤传 感器厦其检 剥技 术 ，谈技 术基 于 白光 干涉的绝对测量原理． 关键词：白光干涉仪 ，白光零级干涉条纹，传感臂 ，参考臂 ，光纤传感器． 中国分类法 ：TP23_2．14 文献标识码 ：A 文章编号 2001)01—0091—05 l 引 言 单 模 (或 窄频带 )高招干激 光检 测设 备 。。采 用激 光波长 为标准 量 ，在精 密测 量条件 下 ，可 达 纳米级甚至亚 纳米级测量 精度 ；但 由于受光学传递 函数 (OTF)的周期影 响 ，这类 系统 的单 值 动态 范围一般很 小．并且 ，由于测量 系统在重新 启动 时无法识 别 出干 涉级 的级数 ．只能对 物 理量进 行相对测量 ．同时 ，这类 系统对 温度 、湿度 、压力等外界环境要求 苛刻 ，结构复杂 ，成 本高．相 比之下 ，采用低相干光源的 白光干涉仪则能解决其 中的一些难题 “j，它不仅可用 来对物理量进 行绝对测量 ，而且能对传感器 的动态 范围得 以扩展 ，分辨率得 以提 高．而且 ，用 于系统 的低相干光源及 多模 光 纤价格 便宜 ． 因此 ，本文 总结 出了根据 自光干涉 的绝对测量 原理而 发展起 来 的全 光纤 自光干涉 光纤 传 感原理及其检测技 术 ． 2 白光干涉仪 的基本测量原理 白光干 涉仪一般 由两个干涉仪 (参考干涉仪 和传感干涉仪 )串联 而成 ，如 ：FabryPerots／ FabryPerots[，M ach Zehnder／Fabry—Perots2 ，MachZehnder／M ach ZehnderL ，Miche~ son／FabryPerots ，Michelson／Michelson0 等．尽管有不 同的结构类 型 ，但 它们 的测量原 理都可用 图 1所示 的自光干涉仪基 本工作 原理 图来表示 图 1所示 的传感 干涉仪将被测物理量 的变化转换为光程差 的变化 ；参考干涉仪将来 自 传感干涉仪 的互不相干的光信号重台并产生干涉．这样 ，输 出端就可观察到代表 白光干涉仪 输 出信号 的干涉条纹 ：输 出光强在两干涉条纹的光程差相等时有最大值 ，对应 的条纹对 比度 ” 来稿 }]期 ：200DLO一08 甚盘项 目：车文完戚 和筮表过程 中，得 到 863光 电子主腰 、国家 自拣科学基金 、教 育部 白热科 学基金 毂技 棚 19~7)129号丈]、教育部光 电信息工程实验室访问学者基金和教育部光电信息工程实验室的支持和贷助， 传 感 技 术 学 报 田 1 白光 干 性 的基 奉 工作原 理 图 Fig 1 Thebasicoperating schematicdiagram ofwhitelightinterferomerer 也最 大 ，称 为 中心条 纹．为满足低相干度 光探 的获得 和零 级干涉条 纹 的检 测两 大 问题 ．要 求 所用光源 的相干 长度 应满 足既远小于两个干涉仪 的光程 差 ，又 大于两个干涉仪光程 差的差 值 ．在系统测量过程 中，通过改变微位移仪 ，使参考干涉仪 的光程差值与传感干涉仪 的光程 差值相等 的方法 ，直接得到传感干涉仪光程差的变化值 ，从而实现对被测量 的绝对测量． 目前 ，该方法 已用 于位 移 、压力 [t22、振动：”、应 力 、应 变 、湿度 、温度 一等物 理参 量 以及生化参量 。的绝对 测量． 3 全光纤 自光干涉型光纤传感器系统 不同类 型的低 相干光源 (如 ，宽带连 续光谱 、窄带连续光谱及梳 状光谱)有不 同的相干特 征特 性 ，相 应 的低相干 白光干涉测量 系统就有 不同的检测方式．