具备自标定功能的绝对式时栅位移传感器-中国工具信息网.PDF

９８ 工 具 技 术 具备自标定功能的绝对式时栅位移传感器 王阳阳，陈锡侯，彭东林，武亮，汤其富 重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心 摘要：时栅位移传感器的绝对式实现方法主要采用单对极 ＋多对极和多对极差一对极组合两种形式实现。 对于两层传感器结构的单对极＋多对极的组合形式，由于极对数相差较多、分辨力差别较大，不利于实现高精度。 对于差一对极的组合方式，由于极对数较多，在传感器原始加工精度较差时，会产生位置解算困难、甚至无法正确 解算的情况。为解决上述问题，提出对极数呈互质关系的两层传感器结构的新组合模式。该模式可实现自校正， 有效提高产品精度。通过试验验证了该方法的可行性，获取的传感器精度为－４．５″－３．９″。 关键词：时栅位移传感器；绝对测量；对极数互质；自标定技术 中图分类号：ＴＧ８０６；ＴＨ７４１；ＴＰ２１６　　　　　　文献标志码：Ａ ＡｂｓｏｌｕｔｅｔｙｐｅＴｉｍｅｇｒａｔｉｎｇＤｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔＳｅｎｓｏｒｗｉｔｈＳｅｌｆＣａｌｉｂｒａｔｉｏｎＦｕｎｃｔｉｏｎ ＷａｎｇＹａｎｇｙａｎｇ，ＣｈｅｎＸｉｈｏｕ，ＰｅｎｇＤｏｎｇｌｉｎ，ＷｕＬｉａｎｇ，ＴａｎｇＱｉｆｕ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｔｐｒｅｓｅｎｔ，ｔｈｅａｂｓｏｌｕｔｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄｆｏｒｔｉｍｅｇｒａｔｉｎｇｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｓｅｎｓｏｒｓｍａｉｎｌｙａｄｏｐｔｓｔｗｏ ｍｅｔｈｏｄｓ．Ｏｎｅｗａｙ，ｔｈｅｃｏｍｂｉｎａｔｉｏｎｏｆｓｉｎｇｌｅａｎｄｍｕｌｔｉｐｌｅｐｏｌｅｐａｉｒｓｉｎａｔｗｏｌａｙｅｒｓｅｎｓｏｒｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，ｆｅａｔｕｒｅｓａｇｒｅａｔｐｏｌｅ ｐａｉｒｎｕｍｂｅｒｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ，ｌｅａｄｉｎｇｔｏａｇｒｅａｔｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅａｎｄｇｏｉｎｇａｇａｉｎｓｔａｃｈｉｅｖｉｎｇｈｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎ．Ｔｈｅｏｔｈｅｒｗａｙ， ｔｈｅｃｏｍｂｉｎａｔｉｏｎｏｆｍｕｌｔｉｐｌｅｐｏｌｅｐａｉｒｓｗｉｔｈｔｈｅｐｏｌｅｐａｉｒｎｕｍｂｅｒｉｎｏｎｅｓｅｔｏｎｅｌｅｓｓｔｈａｎｔｈａｔｉｎｔｈｅｏｔｈｅｒｏｎｅ，ｃａｎｃａｕｓｅ ｄｉｆｆｉｃｕｌｔｉｅｓｉｎｒｅｓｏｌｖｉｎｇｐｏｓｉｔｉｏｎｓａｎｄｅｖｅｎｉｎｃｏｒｒｅｃｔｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎｓｄｕｅｔｏｔｈｅｓｅｎｓｏｒ’ｓｐｏｏｒｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｐｒｅｃｉｓｉｏｎａｎｄａ ｃｏｎｓｉｄｅｒａｂｌｅｐｏｌｅｐａｉｒｎｕｍｂｅｒｉｎｉｔ．Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｓｏｌｖｅｔｈｅｓｅｐｒｏｂｌｅｍｓ，ａｎｅｗｍｅｔｈｏｄｕｓｉｎｇａｔｗｏｌａｙｅｒｓｅｎｓｏｒｓｔｒｕｃｔｕｒｅｗｉｔｈ ｃｏｐｒｉｍｅｐｏｌｅｐａｉｒｎｕｍｂｅｒｓｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄ．Ｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄｃａｎｉｍｐｌｅｍｅｎｔｓｅｌｆｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｔｏｅｆｆｅｃｔｉｖｅｌｙｉｍｐｒｏｖｅｐｒｏｄｕｃｔｐｒｅｃｉ ｓｉｏｎ．Ｆｉｎａｌｌｙ，ｔｈｅｆｅａｓｉｂｉｌｉｔｙｏｆｔｈｅｍｅｔｈｏｄｉｓｖｅｒｉｆｉｅｄｂｙｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ，ａｎｄｔｈｅｐｒｅｃｉｓｉｏｎｏｆｔｈｅｓｅｎｓｏｒｉｓｏｂｔａｉｎｅｄｔｏｂｅ－４．５″ －３．９″． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｔｉｍｅｇｒａｔｉｎｇｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｓｅｎｓｏｒ；ａｂｓｏｌｕｔｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ；ｃｏｐｒｉｍｅｐｏｌｅｐａｉｒｎｕｍｂｅｒ；ｓｅｌｆｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ （光电编码器）和旋转变压器研究居多。绝对式光 　引言 栅主要通过在码盘两侧分别安置光发射器和光接收 时栅位移传感器是一种基于时空坐标转换思 器来实现，随着码盘转动，各光敏元件根据受光照与 ［１，２］ ［７，８］ 想、通