原创力文档改进的rf-ldmos小信号模型参数提取方法 improved parameter extraction method for the rf-ldmos small signal model.pdfVIP
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改进的rf-ldmos小信号模型参数提取方法 improved parameter extraction method for the rf-ldmos small signal model
半导体检测与测试技术
姑啦棚岫pccli∞＆蛐酬09i∞
DOI：10．3969／j．issn．1003—353x．2012．02．016
改进的RF—LDMOS小信号模型参数提取方法
王帅，李科，陈蕾，姜一波，龚鸿雁，杜寰，韩郑生
(中国科学院微电子研究所，北京100029)
的小信号模型能很好地反映微波器件的性能。针对LDMOS提出了一种改进的小信号模型参数提
取方法，此方法增加了测试结构的建模和参数提取，极大地方便了．s参数曲线的拟合，而且对于
GHz
测试版图的研究有一定的指导意义。由此方法提取的小信号模型与实验测试数据在0．1—8
拟合的很好，并且准确地预测了器件的特征频率。该模型和方法能够很好的适用于LDMOS的L，
s波段小信号建模和参数提取。
关键词：LDMOS；小信号模型；去嵌入；参数提取；曲线拟合
中图分类号：TN386文献标识码：A
ParameterExtractionMethodfortheRF·LDMOS
Improved
Small Model
Signal
Shuai，LiKe，ChenLei，JiangYibo，GongHongyan，DuHuan，nanZhengsheng
Wang
(Instituteofmicroelectronics，ChineseSciences，Belting100029：China)
Academyof
accurate extractionoftheRF—LDMOSsmall modelis for
Abstract：The very
parameter signal important
the modelofthe a small modelcan reflectthe
LDMOS，and signal
buildinglargesignal good exactly
ofamicrowavedevice．An extractionmethodoftheLDMOSsmall
performances improvedparameter
modelwas methodaddsteststructure andits extractionwhich
signal presented．The modelingparameter
forthe test
facilitatesthe alsohasacertain ofthe
greatly curve—fitting．but guidingsignificancestudy
structure measureddataarefitted wellinthe of0．1-8 cut—off
layout．The very range GHz，and’the
be t
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