高产能四管卧式热壁型pecvd设备 high yielding four tubes horizontal hot wall type pecvd equipment.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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高产能四管卧式热壁型pecvd设备 high yielding four tubes horizontal hot wall type pecvd equipment.pdf

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高产能四管卧式热壁型pecvd设备 high yielding four tubes horizontal hot wall type pecvd equipment

：盟料垫王塑玺墨础鬈卷团 E 高产能四管卧式热壁型PCVD设备郑建宇，宋晓彬，张燕，李补忠 (北京七星华创电子股份有限公司，北京100016) 摘要：介绍了北京七星华创电子股份有限公司自主创新产品国内首台带有自动上下料系统的高产能四管卧式热壁型PECVD设备。该设备具有高产能、自动化程度高、成膜质量好、高性价比等特点，并着重阐述了该设备的技术先进性及性能指标。关键词：PECVD；高产能；自动化程度；性价比中图分类号：TN304．055 文献标识码：B FourTubes’HorizontalHot Wall HighYielding Type PECVD Equipment ZHENG Jianyu，SONGXiaobin，ZHANGYan，LI Buzhong Sevenstar Electronics China) (Beijing Huachuang Co．，Ltd．，Beijing Abstract：Thefirst fourtubes’horizontalhotwall PECVD with highyielding type equipment automatedloadandunload inournationtobeintroducedinthis is an system paper，which has as innovatedofour such highyielding， independentproduct company．Thisequipementproperty automation cost SOon．The ofthis high degree，goodqualityfilm，highperformance，andadvantage and indextobethe ofthis technology performance emphasispaper． Keywords：PECVD；High degree；Costperformance yielding；Automation 125 等离子体增强化学气相淀积0ECVD)设备是晶rnln片)，并进行了工艺摸索实验，目前该设备各体硅太阳能电池生产线上用于制备钝化减反射膜的项性能指标均以达到同类进口管式设备水平。该设关键技术装备。由于国内此类设备技术相对落后，长备的成功研制大幅度降低了晶体硅太阳能电池线的期以来进口管式和平板式pecvd设备占据了国内太投资成本，较进口设备具有绝对的性价比优势。阳电池大生产线绝大