锆钛酸钡薄膜的制备及其光学性能研究 fabrication and study of optical properties of bazr0.1ti0.9o3 thin film.pdfVIP

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锆钛酸钡薄膜的制备及其光学性能研究 fabrication and study of optical properties of bazr0.1ti0.9o3 thin film

绝缘材料 2010,43(5) 黄隆等:锫钛酸钡薄膜的制备及其光学性能研究 61 锆钛酸钡薄膜的制备及其光学性能研究 黄 隆8一,王 军a,by谢亚楠6 (江西科技师范学院a.江西省材料表面工程重点实验室;b.材料科学与工程学院,南昌330013) BZT薄膜的热处理工艺。用分光光度计测试了BZT薄膜的透射谱,结果表明,在可见光及近红外区域,BZT 100 薄膜具有较高的透过率。采用“包络法”计算了BZT薄膜的光学常数,结果表明,波长从370nm增加到1 nm时,BZT薄膜的折射率为1.75~1.93,薄膜厚度为268nm,BZT薄膜的光学带隙为4.2eV。 关键词:溶胶凝胶法;BZT薄膜:光学性质 中图分类号:TM215;0469文献标志码:A 文章编号:1009—9239(2010)05—0061—03 Fabricationand of StudyOpticalProperties of ThinFilm BaZro.1Tio.9|03 Jun‘”,XIEYa-nan6 HuangLong。”,WANG MaterialScienceand KeyLaboratoryof Engineering;b.Schoolof (口.Jiangxi Surface Engineering, Scienceand Normal Jiangxi Technology Abstract:Aof filmwas onfused substrate typeBaZro.1Tio.D3(BZT)thinprepared quartz bysol-gel ofthe thermaltreatment BZTfilmwasdetermineddifferentialthermal technique.The process by transmissionwastested isindicated analyzer(DTA).Theoptical spectrum byspectrophotometer.It thattheBZTfilmis invisible andnearinfraredarea.Its highlytransparentlight opticalproper- tieswerecalculated method.Theresultsshowthatthefilm’Srefractiveindex byenvelope changes inthe 1.75and1.93whenthe variesfrom370一1100nm.Thefilmthickness of wavelength range isabout268amandthe about4.24eV. optic

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