多晶硅副产品四氯化硅.DOCVIP

ICS?????? H ????? YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T XXXX?????—XXXX ????? 多晶硅副产品 四氯化硅 silicon tetrachloride—by-product of polysilicon （送审稿） XXXX - XX - XX发布 XXXX - XX - XX实施 中华人民共和国工业和信息化部??发布 前??言 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口 本起草多晶硅副产品 四氯化硅 范围 本标准规定了多晶硅副产物四氯化硅的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等内容。 本标准适用于多晶硅生产过程中所产生的副产物四氯化硅。该产品主要作为生产光纤四氯化硅、气相二氧化硅、氢化生产三氯氢硅、有机硅和石英玻璃等产品的主要原料。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB 6680 液体化工产品采样通则 GB 12463 危险货物运输包装通用技术条件 GB 15603 常用化学危险品贮存通则 要求 外观 产品在常温常压下为液体。 技术指标 产品的技术指标应符合表1的规定，其它控制项目及指标要求由供需双方协商确定。 表1 四氯化硅技术指标 项? 目 技?术?指 标 Ⅰ级 Ⅱ级 Ⅲ级 Ⅳ级 SiCl4， %（wt），≥ 99.5　 98.0　 95.0 50.0 高沸物，%（wt），≤ 　0.1 0.2　 0.5　 / SiH2Cl2，%（wt），≤ 2 杂质元 素限量 硼，μg/g，≤ 0.02　 2.0 10.0 / 磷，μg/g，≤ 0.01　 1.0 5.0 / 铁、铝、钛总和，μg/g，≤ 0.1　 5.0　 50.0 / 注1：高沸物为沸点高于主产物四氯化硅的其他物质。 检验方法 产品外观质量目视检查。 四氯化硅和其他氯硅烷含量按照附录A规定的方法进行。 杂质元素含量按照附录B规定的方法进行。 检验规则 检查和验收 产品应供方质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定，并填写产品质量证明书。 需方可对收到的产品进行检验。若检验结果与规定不符时，提出，由供需双方协商解决。 每批产品应进行检验则对不合格的项目进行GB 190《危险货物包装标志》中规定的腐蚀性标志。 运输 运输过程中要确保容器不泄漏、不倒塌、不坠落、不损坏。严禁与强碱、强氧化剂、醇类、水、食用化工物品等混装混运。运输应按规定的路线行驶，途中应防高温、曝晒、雨淋，禁止在人口密集区停留。搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。 贮存 四氯化硅产品贮存在地点应阴凉、干燥、通风良好的区域，储罐应密闭并设置防静电接地装置和避雷装置，并远离火种、热源。 质量证明书 每批产品应附有质量证明书，其上注明： 供方名称； 产品名称； 产品批号； 产品净重； 各项检验结果及检验部门印记； 本标准编号； 出厂日期。 安全 四氯化硅遇水强烈水解成硅酸和氯化氢酸雾。接触其蒸气可引起接触性皮炎,接触液体可致皮肤和粘膜灼伤。四氯化硅对眼、上呼吸道粘膜有强烈的刺激作用，高浓度时起角膜浑浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿。 在进行四氯化硅装卸或取样时应尽量避免空气接触，局部排风，使用防爆型的通风系统和设备。操作人员须经过专门培训，严格遵守操作规程。防止蒸气泄漏到工作场所空气中，可能接触其蒸气时，建议操作人员佩戴防毒面具、防护眼镜和橡胶手套。工作场所应配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。 四氯化硅泄漏时应采用干砂、二氧化碳、干粉、水泥灭火，禁止直接用水或泡沫扑救。 订货单（或合同）内容 本标准所列产品的订货单（或合同）内应包括下列内容： 产品名称； 规格； 重量； 本标准编号； 安全注意事项； 其他。 （规范性附录）四氯化硅中组分含量的测定 方法提要 被分析样品在载气的推动下，经过涂有固定液的色谱柱时，根据不同化合物性质的差异得以分离，并按顺序依次被载气送入检测器检测。记录各色谱峰信号，其信号大小在一定浓度范围内与待测组分的量成比例。采用（校正）面积归一化法定量，氯硅烷进样量为0.01ml时，组分检测限范围0.01%~100%。 试剂与材料 载气：氢气，纯度≥99.99（体积分数），用硅胶和分子筛干燥净化。 微量进样器 仪器与设备 气相色谱仪：TCD检测器、色谱工作站 色谱柱：DC550填充柱或能达到同等分离程度的填充柱或毛细管柱。 分析步骤 仪器接通载气、通电，待仪器开机正常、稳定后，调用测试方法，仪器预热升温，仪器进入稳定状态。 检查仪器记录