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非球面在线检测的系统误差分离与修正.pdf

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第卷第期纳米技术与精密工程年月非球面在线检测的系统误差分离与修正郭隐彪郭江柯晓龙朱永炉厦门大学物理与机电工程学院厦门摘要为了解决非球面在线检测的系统误差问题针对系统误差产生的机理误差的数学模型分离方法以及补偿方法进行了研究提出一种将空间误差投影到不同平面上进行分析从而解决测量系统误差的新方法并建立了各系统误差的数学模型根据最小二乘法的基本思想建立了基于标准球面的系统误差分离数学模型得到了各参数的最小二乘估计值并利用误差修正模型进行了校正利用标准球面进行测量实验验证了该方法的有效性和精确性实验结果

第 卷 第 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 年 月 非球面在线检测的系统误差分离与修正

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