硅烷低温等离子体阶跃响应的仿真-深圳大学.PDFVIP

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2017-08-14 发布于天津
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硅烷低温等离子体阶跃响应的仿真-深圳大学

54 7 2005 7 Vo . 54, No. 7, Ju y, 2005 10003290200554( 07)325106 ACTA PHYSICA SINICA 2005 Chin. Phys. Soc. ( 1) * 杨靖李景镇孙秀泉龚向东 ( , 5 18060) ( 2004 5 31 ; 2004 11 18 ) , , . 1356MHz, 05Torr( 05 10 333Pa) ( SiH ) . 550V 350V , 4 RF , . : , , , PACC: 5265, 5235, 5225F, 5240K 1引言 2模型 . , , ; [ 1] . , E p 0 [ 8, 9, 11 13] . , [ 2] . ( capacitive y coup ed p asma ) , [ 1, 8,9, 14 16] , 1 , RF f = 1356MHz, gap = 20mm, [ 3] , , r = 80cm, C = 100pF. f = g . Samukawa 1356MHz , , [4 7] . Yang . , , [ 8, 9] . , , , [ 10] . , . ( SiH ) 4 , RF , , , ( ) , .